速冷式颗粒捕集器制造技术

本申请涉及颗粒捕集器领域，尤其是速冷式颗粒捕集器，包括外层循环冷却系统、外层气流导向系统、内层循环冷却系统、内层气流导向系统、进气口、排气口、上盖、下盖、外层循环冷却系统接头和内层循环冷却系统接头，所述外层循环冷却系统、外层气流导向系统、内层循环冷却系统、内层气流导向系统按由外向内的顺序依次嵌套后与上盖和下盖分别密封连接，在内部空间中形成首尾相连的外部和内部两个气流的第一路径腔体和第二路径腔体。本申请冷却系统与腔体完全隔离，不存在颗粒物附着和后期维护清理问题，不占用腔体空间，利用螺旋导流结构，保证气体通流量，同时腔体增加立式过滤装置对含有颗粒物高速气体进行颗粒物拦截。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及颗粒捕集器领域，具体而言，涉及速冷式颗粒捕集器。

技术介绍

1、真空炉体经过硒化反应出来的工艺气体温度高达600度左右，工艺气体含有硫、硒等多种副产物对真空泵磨损导致不可逆影响，严重时会造成真空泵抱死停机，衍生出的副产物如不能有效地去除，将会沉积在基底上，进而影响成品的加工导致不良品发生，市面上传统过滤器(不带冷却装置)不适用这种高温工况；市面上内置式冷却过滤器带冷却系统的过滤装置，是在整个腔体内加入盘管装置，明管敷设，一是过多占用腔体空间，引起气体通流量和扰流问题，二是使用一段时间后，固态颗粒物附着在盘管表面，后期维护难以清理，过多次数维护清理容易导致盘管裂漏情况发生，维护成本高；

2、市面上外置式冷却系统的过滤装置，虽然免去盘管维护清理问题，但因盘管冷却系统在外层表面(明管敷设)，腔体内部无冷却系统，冷却效果不佳，收集效果差；因此我们对此做出改进，提出速冷式颗粒捕集器。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于：针对目前存在的传统内置式捕捉器固态颗粒物会附着在盘管表面，后期维护难以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.速冷式颗粒捕集器，包括外层循环冷却系统(1)、外层气流导向系统(2)、内层循环冷却系统(3)、内层气流导向系统(4)、进气口(5)、排气口(6)、上盖(7)、下盖(8)、外层循环冷却系统接头(9)和内层循环冷却系统接头(10)，其特征在于，所述外层循环冷却系统(1)、外层气流导向系统(2)、内层循环冷却系统(3)、内层气流导向系统(4)按由外向内的顺序依次嵌套后与上盖(7)和下盖(8)分别密封连接，在内部空间中形成首尾相连的外部和内部两个气流的第一路径腔体(1001)和第二路径腔体(1002)，所述进气口(5)、排气口(6)分别与第一路径腔体(1001)和第二路径腔体(1002)连通...

【技术特征摘要】

1.速冷式颗粒捕集器，包括外层循环冷却系统(1)、外层气流导向系统(2)、内层循环冷却系统(3)、内层气流导向系统(4)、进气口(5)、排气口(6)、上盖(7)、下盖(8)、外层循环冷却系统接头(9)和内层循环冷却系统接头(10)，其特征在于，所述外层循环冷却系统(1)、外层气流导向系统(2)、内层循环冷却系统(3)、内层气流导向系统(4)按由外向内的顺序依次嵌套后与上盖(7)和下盖(8)分别密封连接，在内部空间中形成首尾相连的外部和内部两个气流的第一路径腔体(1001)和第二路径腔体(1002)，所述进气口(5)、排气口(6)分别与第一路径腔体(1001)和第二路径腔体(1002)连通，所述外层循环冷却系统(1)连接有外层循环冷却系统接头(9)，所述内层循环冷却系统(3)连接有内层循环冷却系统接头(10)，所述外层循环冷却系统(1)包括外层循环冷却系统外壁(11)、外层循环冷却系统内壁(12)和外层循环冷却系统冷却介质导向机构(13)，所述内层循环冷却系统(3)包括内层循环冷却系统外壁(31)、内层循环冷却系统内壁(32)和内层循环冷却系统冷却介质导向机构(33)，所述外层气流导向系统(2)包括外层气流导向机构(21)，所述内层气流导向系统(4)包括内层气流导向机构(41)。

2.根据权利要求1所述的速冷式颗粒捕集器，其特征在于，在某些特殊工况要求下，还可以使用扩展缸体(101)和扩展上盖(71)将所述排气口(6)再次封闭，进而形成一个新的第三路径...

【专利技术属性】
技术研发人员：张大强，
申请(专利权)人：沈阳裕强科技有限公司，
类型：发明
国别省市：