本申请涉及准分子激光器技术领域，本申请提供了一种双环金属密封圈，包括第一半环，第二半环和连接部；连接部将第一半环与第二半环相连；第一半环设置在第一零件的第一密封槽内；第二半环设置在第二零件的第二密封槽内。本申请还公开了一种包括双环金属密封圈的放电腔，包括双环金属密封圈，阳极，阴极，第一零件，第二零件和风机；阳极设置在阴极的下方，两者之间存在间隙；风机用于清扫阴极与阳极之间在放电过程中产生的金属氟化物颗粒；第二零件固定连接在阴极上；第一零件与第二零件贴合，并通过双环金属密封圈密封。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及准分子激光器，尤其是涉及一种双环金属密封圈及其应用的放电腔和激光器。
技术介绍
1、在准分子激光器中，两两相连接的零件需要进行气体密封，一般使用金属密封圈进行密封，金属密封圈受压变形，产生回弹力，使得金属密封圈和待密封零件表面保持贴合，但由于待密封零件和金属密封圈表面微观上存在纹路，使得气体仍然可以通过纹路之间缝隙穿过贴合面，因此金属密封圈表面需覆盖软质金属镀层，在回弹力作用下镀层的软质金属嵌入零件表面的纹路中实现密封。但是如果不同热膨胀系数材料的两个待密封零件在一定温差下发生热胀冷缩接触而发生相对滑动，从而带动密封槽内金属密封圈也和对面零件贴合面发生滑动，将会导致软质金属脱落，发生泄漏。
2、热膨胀系数不同的零件，比如陶瓷和铝合金或者铜合金几种热膨胀系数相差比较大的材料，当温度変化较大而且零件尺寸较长时，两个零件的贴合面会发生相对滑动，在经历一定次数的温度交变循环后，零件之间的金属密封圈就会因为这种相对滑动失去密封效果，发生泄漏，即便更换成橡胶圈，该处橡胶圈使用寿命也明显缩短，这个难题影响激光器整体使用寿命的提高。
3、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种双环金属密封圈，其特征在于，金属密封圈整体为O形，其横截面包括第一半环，第二半环和连接部；
2.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一密封槽与第二密封槽的位置关系为部分错开，其中连通的部分用于使连接部通过并连接第一半环与第二半环。
3.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一半环与第二半环的形状为C形，在安装后其开口方向一致。
4.根据权利要求3所述的双环金属密封圈，其特征在于，连接部一端与第一半环的端部连接，另一端与第二半环的中部连接，从而使得第一半环，第二半环与连接部形成一体化结构。
>5.根据权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种双环金属密封圈，其特征在于，金属密封圈整体为o形，其横截面包括第一半环，第二半环和连接部；
2.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一密封槽与第二密封槽的位置关系为部分错开，其中连通的部分用于使连接部通过并连接第一半环与第二半环。
3.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一半环与第二半环的形状为c形，在安装后其开口方向一致。
4.根据权利要求3所述的双环金属密封圈，其特征在于，连接部一端与第一半环的端部连接，另一端与第二半环的中部连接，从而使得第一半环，第二半环与连接部形成一体化结构。
5.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，连接部为波纹褶皱结构，具有伸缩性与气密性。
6.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，连接部厚度小于第一半环与第二半环的厚度。
7.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，连接部与第一半环和第二半环通过电子束进行焊接。
8.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一半环与第二半环为耐腐蚀的弹性金属材料。
9.根据权利要求8所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一半环与第二半环为弹性范围大于百分之10的钛镍合金。
10.根据权利要求1所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一密封槽内与第二零件相对的平面为第一固定密封面；
11.根据权利要求10所述的双环金属密封圈，其特征在于，第一密封槽中第二零件上与第一固定密封面相对的平面为第一滑动摩擦面；
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴劲松，刘斌，张寅虎，陈文斌，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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