一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置，包括至少3个呈弧形排列的发光模块和衍射光栅，所有所述发光模块投射光至衍射光栅，所述发光模块与衍射光栅之间的光路上设置有靠近发光模块的聚焦光学元件和靠近衍射光栅的慢轴准直光学元件，所有所述发光模块投射的光经过聚焦光学元件和慢轴准直光学元件后由衍射光栅输出单独的光束。该装置利用横向啁啾体布拉格光栅无需加热可主动快速实现合束装置中各个单管半导体激光器的波长锁定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体激光器，具体指一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置。

技术介绍

1、半导体激光器的显著优点在于结构紧凑、体积小、寿命长和电光转换效率高，但是输出光束的发散角一般都比较大且空间亮度也较低，在材料加工领域中的一些应用同时要求高功率和高光束质量的激光输出，当半导体激光器作为泵浦源时，对亮度和波长也有严格的要求，但是传统的半导体激光技术如空间合束、偏振合束虽然能够快速提升功率但都无法大幅提升光束质量。密集波长合束能够在保证较高光束质量的同时提高激光的输出功率。密集波长合束是利用光栅等衍射元件与外腔镜相结合的方式实现各发光单元在不同波长的锁定，不同波长的子光束在光栅上衍射成组合输出光束，通过光栅的衍射作用使得入射光在远场和近场能够空间重叠。合束后的激光束的光束质量近似于单个合束单元，功率是所有合束单元的总和。

2、已经报道的利用光谱合束的原理提高半导体激光器输出功率和光束质量的结构有很多。这些结构大都应用部分反射镜作为外腔镜，一面镀有反射膜，反射率为1％-30％，另一面镀增透膜。反射镜能够透射部分激光束，另一部分则原路反射本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置，其特征在于，包括至少3个呈弧形排列的发光模块(1)和衍射光栅(4)，所有所述发光模块(1)投射光至衍射光栅(4)，所述发光模块(1)与衍射光栅(4)之间的光路上设置有靠近发光模块(1)的聚焦光学元件(2)和靠近衍射光栅(4)的横向啁啾布拉格光栅(3)，所述发光模块(1)包括若干横向线性并排排列的单管半导体激光器(101)，所述横向啁啾布拉格光栅(3)包括若干VBG元件(103)，每个所述单管半导体激光器(101)分别对应一个VBG元件(103)。

2.根据权利要求2所述的一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置，其...

【技术特征摘要】

1.一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置，其特征在于，包括至少3个呈弧形排列的发光模块(1)和衍射光栅(4)，所有所述发光模块(1)投射光至衍射光栅(4)，所述发光模块(1)与衍射光栅(4)之间的光路上设置有靠近发光模块(1)的聚焦光学元件(2)和靠近衍射光栅(4)的横向啁啾布拉格光栅(3)，所述发光模块(1)包括若干横向线性并排排列的单管半导体激光器(101)，所述横向啁啾布拉格光栅(3)包括若干vbg元件(103)，每个所述单管半导体激光器(101)分别对应一个vbg元件(103)。

2.根据权利要求2所述的一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置，其特征在于，所述单管半导体激光器(101)输出的是可见光。

3.根据权利要求1所述的一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置，其特征在于，其中一个所述发光模块(1)为基准多单管密排发光模块，其余所述发光模块(1)为多单管密排发光模块。

4.根据权利要求1所述的一种横向啁啾布拉格光栅多单管外腔激光模块合束装置，其特征在于，所述聚焦光学元件(2)为傅里叶变换透镜。

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【专利技术属性】
技术研发人员：郭凌伟，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：