一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法技术

本发明专利技术涉及一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，包括如下步骤：对GH3536镍基高温硬质合金，进行机械研磨处理后，放入化学反应炉中；先通CH<subgt;3</subgt;CN(乙腈)、TiCl<subgt;4</subgt;等为主要反应原料气体，在900℃左右生成TiN和Ti(C,N)复合膜层作为镍基基底薄膜热流传感器的过渡层，通入AlCl<subgt;3</subgt;、H<subgt;2</subgt;和CO<subgt;2</subgt;在1000℃下反应生成α‑Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;作为绝缘层，通过旋涂法在Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;膜层表面旋涂A‑4‑10酸性铝溶胶凝胶溶液，制备Sol‑gel‑Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;阻挡层；对步骤四得到的复合膜层进行退火处理，得到复合绝缘膜层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及轴承的热流传感器绝缘膜领域，尤其涉及一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法。

技术介绍

1、轴承在航空航天领域中承担着重要的任务，如飞机发动机、航天器推进系统等。轴承的性能和可靠性直接影响航空航天装备的安全性和寿命，因此，航空航天轴承需要经过严格的设计、制造、检测。在这些应用中，轴承的工作温度已达到1000℃以上，远远超出了镍基合金等轴承材料的熔点。为了保护轴承不被高温气流烧蚀，高温轴承需要制作冷却通道，以降低表面温度，保证热气流通过的时候轴承能够正常地运行。评价冷却结构合理性的指标是热流密度。热流密度是指单位时间内通过轴承的热量。将薄膜热流传感器(hfs)制作在高温轴承表面，可以获得高温轴承的热流密度，从而进一步了解轴承在高温环境下的热传导情况，进而优化高温轴承的设计，提高高温轴承的性能和寿命。

2、研究镍基合金表面薄膜热流传感器的制备与性能，其中绝缘层的高温绝缘性是关键因素之一，常规磁控溅射制备氧化铝绝缘层存在三个问题：1)磁控溅射工艺中，氧化铝绝缘层的制备温度最高不能超过600℃，为了将氧化铝晶型转换成α相结构，需要本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，其特征在于，步骤五中，退火升温速率为：2℃/min，退火保温温度为800℃，保温时间为4h，降温速率为3℃/min。

3.根据权利要求1所述的一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，其特征在于，步骤二中过渡层厚度3.5μm。

4.根据权利要求3所述的一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，其特征在于，步骤三中Al2O3绝缘层厚度为3μm。

5.根据权利要求4所述的一种用于轴承...

【技术特征摘要】

1.一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，其特征在于，步骤五中，退火升温速率为：2℃/min，退火保温温度为800℃，保温时间为4h，降温速率为3℃/min。

3.根据权利要求1所述的一种用于轴承的热流传感器的复合绝缘膜层制备方法，其特征在于，步骤二中过渡层厚度3.5μm。

4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄云伟，蒋嘉赟，杨霖，王凯强，杨喆，龙建宇，李川，
申请(专利权)人：东莞理工学院，
类型：发明
国别省市：