一种槽式清洗过程中硅片装载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种在槽式清洗过程中的硅片装载装置，它由承载装置与定位装置组成，定位装置内嵌于承载装置，所述的承载装置包括：承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底面圆孔，底面方孔，为底端支脚；定位装置包括：花篮定位架，花篮隔板。硅片在清洗过程中首先装载于４，５，６寸四氟花篮，然后将四氟花篮规则排列于定位装置内，通过清洗机的机械手夹持承载装置完成硅片清洗。本实用新型专利技术的优点是：装置结构简单，重量较轻，工作效率较高，既有效延长清洗机的使用寿命，又增大了清洗产能。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种槽式清洗过程中硅片装载装置。 技术背景在硅片清洗工艺中，槽式清洗机以其清洗效果良好，较大的产能优势，在硅片清洗 工艺中获得了广泛的应用，槽式清洗机在设计的过程中，一直采用的是机械手夹持四氟花 篮直接浸入清洗槽的方式，此传统方式存在几个明显的问题，首先是清洗机机械手的形变 和使用寿命问题，由于清洗机设计的机械手直接夹持8寸四氟花篮，左右对称两个，当用于 清洗4、5、6寸硅片时候，是嵌套于8寸花篮内的，这种内外嵌套的复合花篮重量较大，长期 使用容易造成机械手的变形，并且在机械手运动过程中，由于晃动还可能会造成四氟花篮 脱落，直接砸坏石英超声槽。并且处在相同工艺时间下，不能提高产能。鉴于槽式清洗硅片运输过程采用8寸四氟花篮作为承载装置的诸多缺点，因此有 必要提供一种新型的硅片承载装置。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于槽式清洗机的硅片承载装置，该装置重量较 轻，结构简单，操作方便，工作效率高，产能较大。为实现上述目的，本技术采取以下设计方案这种用于槽式清洗机的硅片装载装置，它由承载装置与定位装置组成，定位装置 内嵌于承载装置，所述的承载装置包括承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底 面圆孔，底面方孔，为底端支脚；装置前后侧面为对称结构，侧面除了保留必须的承重骨 架，其他位置为开方孔结构；定位装置包括花篮定位架，花篮隔板。前端梯形槽可为一个，后端梯形槽为3个，梯形槽开口宽为5 7cm。该装置底端开方孔，其他底面位置开圆孔，圆孔直径为1 2cm，圆孔数量为48 54个.所述的底端支脚有4个，支脚长度为18 20cm，高度为3 5cm，宽度为1 1. 2cm0整个装置选择材料为聚偏氟乙烯材料。所述的承载装置长度为45 50cm，宽度为20 25cm，高度为20 25cm。所述的定位装置长度为45 50cm，宽度为20 25cm，高度为4 5cm。定位装置的隔板上开圆孔，圆孔直径2 3cm。本专利技术的优点是在材质选择上，选取了聚偏氟乙烯(PVDF)材料代替了聚四氟乙 烯(PTFE)材料，同样可以满足清洗用装置的耐腐蚀性和强度，而PVDF较之PTEF价格上便 宜很多，大大降低了该装置的成本；PVDF较之PTEF重量较轻，即减轻了机械手的承重，有效 保护了机械手不会变形；另一个优点是本专利技术代替了两个8寸四氟花篮作为装载装置，使得装置在整个运动过程中更加平稳，装置的横向宽度较大，不存在脱落的可能，有效保护了石英清洗槽；另 本装置作为4，5，6寸花篮的通用承载装置，内部可以并排放置3个花篮，这样可以直接提高 清洗机的产能50%，有效的释放了硅片清洗产能的压力。附图说明图1四氟花篮承载装置图2四氟花篮定位装置图3承载装置主视图图4承载装置俯视图图5承载装置左视图图6定位装置主视图图7定位装置俯视图图8定位装置左视图具体实施方式如图中所示，四氟花篮承载装置中，1-1为承重骨架，1-2为前端梯形槽，1-3为后 端梯形槽，1-4为侧面方孔，1-5为底面圆孔，1-6为底面方孔，1-7为底端支脚；关于四氟花 篮定位装置中，II-1为花篮定位架，II-2为花篮隔板。由承载装置(图1)与定位装置(图2)可见装置几何设计上充分考虑了力学原 理，承载装置除了承重处骨架外，全部采用开方孔或者圆孔的结构，其目的是最大程度上的 减轻装置的重量，并且开孔处在清洗过程中液体易于流入装置，减小机械手受浮力冲击的 同时，增强了清洗的时间和效果；装置整体结构设计基于前后左右均为几何对称，装置顶端开口处，前端开一个凹 槽，后端开三个凹槽，装置前后面均为半封闭结构设计，底面也为半封闭结构且开圆形孔。 定位装置内嵌于承载装置，将承载装置分为三个单元，且定位装置仍然在隔板上开了圆孔。硅片在清洗过程中首先装载于4，5，6寸四氟花篮，然后将四氟花篮规则排列于定 位装置内，通过清洗机的机械手夹持承载装置完成硅片清洗。定位装置在尺寸上分别设计了对应4，5，6寸硅片的不同尺寸，几何结构对称，既 可以放置满载的3篮硅片，还可以放置两篮(置于两边单元)，一篮(置于中间单元)。权利要求一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于它由承载装置与定位装置组成，定位装置内嵌于承载装置，所述的承载装置包括承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底面圆孔，底面方孔，为底端支脚；装置前后侧面为对称结构，侧面除了保留承重骨架，其他位置为开方孔结构；定位装置包括花篮定位架，花篮隔板。2.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于前端梯形槽 为一个，后端梯形槽为3个，梯形槽开口宽为5 7cm。3.根据权利要求1或2所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于该装置 底端开方孔，其他底面位置开圆孔，圆孔直径为1 2cm，圆孔数量为48 54个。4.根据权利要求1或2所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于所述的 底端支脚有4个，支脚长度为18 20cm，高度为3 5cm，宽度为1 1. 2cm。5.根据权利要求1所述的一种用于槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于整个装 置选择材料为聚偏氟乙烯材料。6.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于所述的承载 装置长度为45 50cm，宽度为20 25cm，高度为20 25cm。7.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于所述的定位 装置长度为45 50cm，宽度为20 25cm，高度为4 5cm。8.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于定位装置的 隔板上开圆孔，圆孔直径2 3cm。专利摘要本技术提供一种在槽式清洗过程中的硅片装载装置，它由承载装置与定位装置组成，定位装置内嵌于承载装置，所述的承载装置包括承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底面圆孔，底面方孔，为底端支脚；定位装置包括花篮定位架，花篮隔板。硅片在清洗过程中首先装载于4，5，6寸四氟花篮，然后将四氟花篮规则排列于定位装置内，通过清洗机的机械手夹持承载装置完成硅片清洗。本技术的优点是装置结构简单，重量较轻，工作效率较高，既有效延长清洗机的使用寿命，又增大了清洗产能。文档编号B08B13/00GK201625653SQ200920277909公开日2010年11月10日 申请日期2009年12月11日 优先权日2009年12月11日专利技术者孙洪波, 宁永铎, 徐继平, 籍小兵, 边永智 申请人:北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：它由承载装置与定位装置组成，定位装置内嵌于承载装置，所述的承载装置包括：承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底面圆孔，底面方孔，为底端支脚；装置前后侧面为对称结构，侧面除了保留承重骨架，其他位置为开方孔结构；定位装置包括：花篮定位架，花篮隔板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐继平，籍小兵，边永智，宁永铎，孙洪波，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，有研半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]