一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。一组（三支）带有卡槽、卡杆，其中正下方一支，左右侧上方各一支。正下方卡杆为固定的，用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动，用来适应不同直径的硅片，通过卡锁固定后，能够有效防止晶圆在花篮中左右移动和滑落，上方不同位置开有放置插杆的圆孔，插入插杆后，可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出。本实用新型专利技术优点是：在晶圆清洗过程中，最大限度减少花篮与硅片接触面积，降低超声波衰减比例，提高晶圆清洗均匀性，提高清洗效果；花篮组合结实牢靠；可实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶圆清洗装置，特别是一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它适 用于4、5、6英寸晶圆的切割、研磨后清洗。
技术介绍
在晶圆加工过程中，需要进行多次清洗，通常清洗将晶圆放在花篮内，投入清洗槽 内。清洗槽内有超声和清洗剂，目前传统清洗花篮多为塑料注塑制成，花篮与晶圆接触面积 比较大，超声波强度在花篮边缘位置衰减严重。容易造成晶圆边缘清洗效果差，表面不均勻 等问题，影响晶圆产品表面状况和洁净程度。传统花篮为单一尺寸清洗，实际操作过程中， 需要为每一种尺寸晶圆准备相应尺寸的清洗花篮。这样不免需要准备各个尺寸的清洗花 篮，增大了工装成本。当清洗某些种类的的晶圆时，晶圆容易因为清洗过程中的抛动和化学 反应产生的力而脱出花篮，造成额外的加工损失。为了克服以上技术问题，我们设计制作了一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，该花篮 与晶圆表面接触面积小，可以解决表面均勻性的问题。而且该花篮可以通过简单的操作，而 兼容4、5、6寸晶圆。
技术实现思路
本技术的目的是一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，该花蓝清洗效果好，实现了 使用一只花篮，可以清洗3种直径晶圆的工作。本技术采取了如下一些技术方案这种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它包括两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接， 侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。在侧板的外侧，有用来固定可拆卸卡杆的卡锁。所述的槽口可适应不同尺寸硅片。卡杆上缺口宽度一致，缺口宽度与传统花篮宽度相同。所述的卡杆为三支，一支位于侧板下方，另外两支分别位于侧板上方两侧。 侧板上槽口与卡杆以固定销片卡合。本技术优点是在晶圆清洗过程中，晶圆由三支卡杆固定，最大限度减少花篮 与硅片接触面积，降低超声波衰减比例，提高晶圆清洗均勻性，提高清洗效果；卡杆与侧板 连接方式为插接式，由卡锁固定，使得花篮组合结实牢靠；通过卡杆在不同插口的放置，实 现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆；设置上方插杆，可以防止晶圆在清洗过程中从上方 脱出，避免晶圆加工损失。附图说明图1为本技术提供的适用多尺寸晶圆清洗花篮结构示意图图1中1为侧板，2为插杆，3为卡杆，4为卡锁，5为固定销片，6为6寸槽口，7为5寸槽口，8为4寸槽口。具体实施方式图1中，一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，包括一组平行的侧板和一组连接侧板的 卡杆。一组卡杆为三支，一支位于侧板下方，另外两支分别位于侧板上方两侧。正下方卡杆 为固定的，用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动，用来适应不同直径的硅片。卡 杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。卡杆安装好之后，三支卡杆的缺口处于一个平面，再次 平片位置可以承载一枚晶圆。在侧插板上方有开孔，用来安装插杆，防止硅片从上方脱出。侧板上的开口，用来安装开槽的卡杆。卡杆安装位置有三个，分别用来适应不同直 径的晶圆。在一组平行侧板的一侧，设置有固定卡锁，安装好卡杆之后，将卡锁锁死，侧板和 卡杆即可很好的连接在一起，构成一个整体。上述所有卡杆的缺口为25个，每一组缺口的间距均勻一致，三支卡杆的缺口在同 一平面上，缺口间距于传统花篮一致。即每一个花篮可以放置25枚硅片，另外清洗后硅片 可以方便的转移到传统花篮中。花篮全部组件为PVDF材质构成。可以应用于晶圆生产中使用的各种酸碱性清洗 剂环境，材料本身和清洗溶液不发生反应，可以避免对硅片的污染。权利要求一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于它包括两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。2.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于在侧板的外侧， 有用来固定可拆卸卡杆的卡锁。3.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于在侧板的外侧， 有适应不同尺寸硅片的槽口。4.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于卡杆上缺口宽 度一致，缺口宽度与传统花篮宽度相同。5.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于所述的卡杆为 三支，一支位于侧板下方，另外两支分别位于侧板上方两侧。6.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于侧板上槽口与 卡杆以固定销片卡合。专利摘要一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它包括两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。一组(三支)带有卡槽、卡杆，其中正下方一支，左右侧上方各一支。正下方卡杆为固定的，用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动，用来适应不同直径的硅片，通过卡锁固定后，能够有效防止晶圆在花篮中左右移动和滑落，上方不同位置开有放置插杆的圆孔，插入插杆后，可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出。本技术优点是在晶圆清洗过程中，最大限度减少花篮与硅片接触面积，降低超声波衰减比例，提高晶圆清洗均匀性，提高清洗效果；花篮组合结实牢靠；可实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆。文档编号B08B13/00GK201644434SQ20092027782公开日2010年11月24日 申请日期2009年11月26日 优先权日2009年11月26日专利技术者宁永铎, 徐继平, 籍小兵, 边永智, 韩少华 申请人:北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：边永智，宁永铎，徐继平，籍小兵，韩少华，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，有研半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[]
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