【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扫描电镜设备，具体提供一种扫描电镜凹槽钉清洁装置。
技术介绍
1、扫描电镜作为微观形貌和结构的分析仪器，在材料分析研究中被广泛应用，在固体颗粒样品、细粒粉末样品或其他形态微细样品的观测中，辅以能谱仪、波谱仪、背散射衍射分析仪等，亦可实现样品的原位微区形貌-成分-结构的协同分析测试，其中，为保证扫描电镜高能电子束流能够正常照射样品，并能激发样品产生特征二次电子或背散射电子，双面夹铝碳导电胶和铝制凹槽钉型样品台等均质良导体媒介，作为必要组成部分，始终贯穿于检测作业的每一环节。具体过程如下；
2、现有技术的凹槽钉在进行清晰时，凹槽钉及导电胶通常采用放入乙醇或异丙醇清洗剂一定时间再进行手工剥离清洗的方法，但是此种方法尚无统一作业流程，较难对其进行彻底的清洗，凹槽钉表面长期未清洗干净的导电胶质残留、导电镀层重金属残留和电子束刻蚀痕迹，会加速导致凹槽钉表面氧化和钝化，并产生较为致密的氧化附着层，从而急剧减弱凹槽钉导电性，而且残留的污染物导致的“图像畸变”或“荷电效应”会对观测产生较大干扰，使其不利于扫描电镜分析测试，无法进行二...
【技术保护点】
1.一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包括刀刷组件、箱体以及固定组件，其中：
2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述箱体底部还设置有废渣盒，用于收集所述凹槽钉清扫产生的残渣。
3.根据权利要求2所述的一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述废渣盒底部还设有废液盒，所述废渣盒的底板上形成有便于液体滴落的通孔。
4.根据权利要求3所述的一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述箱体下端的侧壁形成开口结构，用于容纳所述废渣盒与所述废液盒，以便于所述废渣盒与所述废液盒的通过所述开口结构处
<...【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包括刀刷组件、箱体以及固定组件，其中：
2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述箱体底部还设置有废渣盒，用于收集所述凹槽钉清扫产生的残渣。
3.根据权利要求2所述的一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述废渣盒底部还设有废液盒，所述废渣盒的底板上形成有便于液体滴落的通孔。
4.根据权利要求3所述的一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述箱体下端的侧壁形成开口结构，用于容纳所述废渣盒与所述废液盒，以便于所述废渣盒与所述废液盒的通过所述开口结构处进行拆装。
5.根据权利要求4所述的一种扫描电镜凹槽钉清洁装置，其特征在于，所述废渣盒与所述废液盒的拆装结构均设置成抽屉结构，通过拉手在所述箱体内抽拉。
6.根据权利要求1所述的一种扫描...
【专利技术属性】
技术研发人员：王昭静，柳建勇，刘剑飞，洪国敏，孟文祥，周兆巍，范海波，周志刚，谢育林，沈茂森，于俊芳，关迪，
申请(专利权)人：包钢集团矿山研究院有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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