【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于石英材料半球形超薄壁零件的高精度抛光，更具体地说，特别涉及一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置。
技术介绍
1、半球形结构陀螺仪是一种高精度、高可靠和长寿命的新型固态陀螺仪，它是利用半球壳唇缘的径向振动驻波进动效应来感测基座旋转的一种哥式振动陀螺，具有很高的测量精度、超强的稳定性和可靠性、良好的抗冲击振动性及温度性能，还特别具有独特的关机抗辐射能力，是卫星或空间飞行器惯性测量单元、姿态稳定控制的关键部件，在空间应用领域具有独特的优势和广阔的前景。半球形陀螺仪的表面粗糙度和振动特性对其性能产生巨大影响，需对其进行表面抛光处理，以提高其表面加工精度及振动性能。
2、具有薄壁、半球形结构的陀螺仪，尺寸精度、面形精度、表面微观质量等要求很高，一般的表面抛光处理难以达到其精度要求，也容易对其表面结构产生破坏，此外，也存在无法对其内外表面同时抛光，需分开进行处理，工艺较为复杂，加工精度难以控制的问题，故急需一种可对半球形结构陀螺仪内外表面同步高精度抛光的装置，以简化加工工艺，提高半球形结构陀螺仪表面精度及
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1.一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，该装置包括：
2.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，所述飞秒激光的激光能量为10~100μJ。
3.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，所述飞秒激光的激光频率为100~200KHz。
4.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，所述飞秒激光的光斑大小低于阈值，所述阈值为5~10nm。
5.根据权利要求1所述的基...
【技术特征摘要】
1.一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，该装置包括：
2.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，所述飞秒激光的激光能量为10~100μj。
3.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，所述飞秒激光的激光频率为100~200khz。
4.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，所述飞秒激光的光斑大小低于阈值，所述阈值为5~10nm。
5.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，所述飞秒激光发射单元包括：
6.根据权利要求1所述的基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置，其特征在于，多个所述飞秒激光...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜，李照东，陈超宇，汪启军，吴改，沈威，东芳，梁康，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：
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