异质结太阳能电池及其制备方法和太阳能电池组件技术

本发明专利技术公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法和太阳能电池及组件，该方法包括：半导体衬底具有相对的第一面和第二面，在所述第一面和/或所述第二面形成凹槽；在所述第一面上依次形成第一钝化层、第一非晶硅薄膜和第一透明导电层；在所述第二面上依次形成第二钝化层、第二非晶硅薄膜和第二透明导电层，所述第一非晶硅薄膜与所述第二非晶硅薄膜的导电类型相反，所述第一透明导电层上具有与所述第一面上凹槽对应的第一凹槽和/或所述第二透明导电层上具有与所述第二面上凹槽对应的第二凹槽；在所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层上形成种子层；在所述第一凹槽对应的种子层和/或所述第二凹槽对应的种子层上镀覆金属电极层。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于太阳能电池领域，具体涉及一种异质结太阳能电池及其制备方法和太阳能电池组件。

技术介绍

1、太阳电池金属化影响电池成本及转换效率，最终关乎电池路径的选择。电池金属化是太阳电池生产中的重要环节之一。通过接触式与非接触式技术，在太阳电池片的正背面制备金属化电极，使电极与电池片之间形成紧密高效的欧姆接触，将光生载流子导出电池。金属化关系电池片生产成本、转换效率等方面，最终影响未来电池路径的选择。因此，金属化工艺优化不仅成为各家电池厂家为实现降本计划重点攻克的领域，同时成为行业关注重点。铜电镀技术作为一种非接触式的金属化技术，是突破丝网印刷技术最为有效的尝试。铜电镀技术最大的优势是用铜替代全部金属银浆，根本上解决材料成本高的问题，同时铜电镀可以同时实现双面金属化，提高生产效率。

2、然而铜电镀技术实现金属化需要四个步骤：ⅰ种子层；ⅱ图形化；ⅲ电镀；ⅳ后处理。其中图形化是通过图形转移技术获得电极设计图案，实现后续的选择性电镀的关键步骤，图形化技术大致可分为有机物掩膜、无机物掩膜、喷墨打印和激光剥离等。目前，有机物掩膜、无机物掩膜两种技术方案为大部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制备异质结太阳能电池的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凹槽的深度为10μm-20μm，宽度为10μm-20μm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一凹槽对应的种子层和/或所述第二凹槽对应的种子层上镀覆金属电极层包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述镀覆金属电极层的镀覆液包括铜盐、酸液、氯化物、光亮剂、整平剂和抑制剂。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述铜盐包括硫酸铜、硝酸铜和磺酸铜中的至少之一；

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种制备异质结太阳能电池的方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凹槽的深度为10μm-20μm，宽度为10μm-20μm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一凹槽对应的种子层和/或所述第二凹槽对应的种子层上镀覆金属电极层包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述镀覆金属电极层的镀覆液包括铜盐、酸液、氯化物、光亮剂、整平剂和抑制剂。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述铜盐包括硫酸铜、硝酸铜和磺酸铜中的至少之一；

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，基于所述镀敷液的总量，所述铜盐的浓度为60g/l-200g/l，所述酸液的浓度为25g/l-150g/l，所述氯化物中氯离子的浓度为20mg/l-100mg/l，所述光亮剂的浓度为1mg/l-20mg/l，所述整平剂的浓度为10mg/l-100mg/l，所述抑制剂的浓度为50mg/l-1000mg/l。

7.根据权利要求3-6中任一项所述的方法，所述镀覆金属电极层过程的电流密度为0.1a/dm2-10a/dm2，持续时间为5min-50min。

8.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述去除非凹槽部分的种子层和金属电极层包括干法刻蚀、湿法刻蚀和电解反刻蚀中的至少之一。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述电解反刻蚀方法包括：

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述种子层的厚度为100nm-200nm。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一凹槽和/或第二凹槽对应的所述金属电极层的厚度为10μm-20μm。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在所述第一凹槽对应的金属电极层和/或第二凹槽对应的金属电极层...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖树城，王子港，吴魁艺，王昭，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：