一种Ti/TiN疏水性复合薄膜制备方法技术

本发明专利技术涉及一种T i/T iN疏水性复合薄膜制备方法，所述方法为：基片分别用丙酮、酒精和蒸馏水对基片进行超声波清洗；清洗后的基片进行干燥；将干燥后的基片放入真空室；选用Ti靶作为直流阴极，沉积膜层之前首先通入Ar气用Ar+轰击清洗基片表面，轰击后进行沉积T i过渡层；用纯度大于99.9％的Ti N靶作为射频阴极，沉积T i/TiN复合薄膜，本发明专利技术设计的一种T i/TiN疏水性复合薄膜制备方法，制备效率高，可以精确地控制薄膜的成分和结构，调控能力强。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于ti/tin复合薄膜，具体涉及一种ti/tin疏水性复合薄膜制备方法。

技术介绍

1、质子交换膜燃料电池是具有高性能的电池技术，能够满足高效能量转换、超低污染的需求。双极板是质子燃料电池的重要组成部分，金属双极板制造成本低、同时具有优良的导热性、导电性等，但直接将金属双极板在电池环境实际应用，双极板表面会出现钝化膜使导电性能降低，同时在腐蚀过程中溶解的金属离子可能造成催化剂中毒，导致电池效率进一步下降。tin(氮化钛)薄膜它具有优异的硬度、耐腐蚀性和导电性等特点，被广泛应用于不锈钢双极板防腐中。

2、已经有很多研究采用溶胶凝胶、直流磁控溅射、高脉冲磁控溅射等方法制备tin薄膜，并对其防腐性和导电性进行了深入研究。张啸宇通过直流磁控溅射法在45#钢表面制备tin及ti/tin多层薄膜，发现ti层的增加有助于减小薄膜的残余应力,并且可提高薄膜的耐蚀性能。jannat通过直流磁控溅射将ti/tin多层涂层沉积到316不锈钢上，ti/tin和不但显著增强316l不锈钢的耐腐蚀性，并且增大了薄膜与不锈钢片的结合力。benzouid使用反应射本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种Ti/TiN疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种Ti/TiN疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，所述超声波清洗时长为15min。

3.根据权利要求1所述的一种Ti/TiN疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，所述的Ti靶，其直径范围为46-46.1mm，厚度为3-3.1mm，纯度大于99.9％。

4.根据权利要求1所述的一种Ti/TiN疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，通入Ar气用Ar+轰击清洗基片表面的时长为10min。

5.根据权利要求1所述的一种Ti/TiN疏水性复合薄膜制备...

【技术特征摘要】

1.一种ti/tin疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种ti/tin疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，所述超声波清洗时长为15min。

3.根据权利要求1所述的一种ti/tin疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，所述的ti靶，其直径范围为46-46.1mm，厚度为3-3.1mm，纯度大于99.9％。

4.根据权利要求1所述的一种ti/tin疏水性复合薄膜制备方法，其特征在于，通入ar气用ar+轰击清洗基片表面的时长为10min。

5.根据权利要求1所述的一种ti/tin疏水性复合...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄嘉林，高松华，魏欣，
申请(专利权)人：三明学院，
类型：发明
国别省市：