【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种分析系统，且特别是涉及一种气体分析系统。
技术介绍
1、目前，在对来自不同待分析气体源的多个待分析气体进行分析时，会依序对多个待分析气体进行分析。然而，待分析气体在传送过程中，会在共用管路中残留污染物。因此，将会导致下一个待分析气体在流经共用管路时受到污染物的污染，进而降低气体分析的准确性。因此，如何防止待分析气体在共用管路中交叉污染为持续努力的目标。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种气体分析系统，其可防止待分析气体在共用管路中交叉污染，进而提升气体分析的准确性。
2、本专利技术提出一种气体分析系统，包括分析装置、共用管路、多个待分析气体源、多个采样管路、冲洗气体(purge gas)供应装置、冲洗气体供应管路与加湿器。共用管路连接于分析装置。多个采样管路连接于多个待分析气体源与共用管路之间。多个采样管路彼此分离。冲洗气体供应管路连接于冲洗气体供应装置与共用管路之间。冲洗气体供应管路与共用管路的连接位置邻近于共用管路的远离分析装置的一端。加湿器设置在冲洗气
【技术保护点】
1.一种气体分析系统，包括：
2.如权利要求1所述的气体分析系统，其中相较于多个所述采样管路与所述共用管路的多个连接位置，所述冲洗气体供应管路与所述共用管路的连接位置更接近所述共用管路的远离所述分析装置的一端。
3.如权利要求1所述的气体分析系统，其中所述冲洗气体供应装置所供应的冲洗气体包括氮气或洁净干燥空气。
4.如权利要求1所述的气体分析系统，其中所述冲洗气体供应装置所供应的冲洗气体经所述加湿器加湿后的相对湿度为30％至60％。
5.如权利要求1所述的气体分析系统，其中所述分析装置包括液体分析装置或气体分析装置。p>
6.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种气体分析系统，包括：
2.如权利要求1所述的气体分析系统，其中相较于多个所述采样管路与所述共用管路的多个连接位置，所述冲洗气体供应管路与所述共用管路的连接位置更接近所述共用管路的远离所述分析装置的一端。
3.如权利要求1所述的气体分析系统，其中所述冲洗气体供应装置所供应的冲洗气体包括氮气或洁净干燥空气。
4.如权利要求1所述的气体分析系统，其中所述冲洗气体供应装置所供应的冲洗气体经所述加湿器加湿后的相对湿度为30％至60％。
5.如权利要求1所述的气体...
【专利技术属性】
技术研发人员：阙筠霓，黄惠婷，彭玉琦，
申请(专利权)人：力晶积成电子制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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