一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置制造方法及图纸

本技术公开了一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，涉及加热技术领域，包括若干清洗池，每个清洗池上均设置有药水流入管、热水流入管、冷水流入管以及排水管，若干药水流入管均接入药水箱，若干冷水流入管均接入RO水箱。RO水箱流出的一部分冷水经过储能加热组件加热后流入清洗池中，然后药水箱中药水经过药水流入管排入清洗池中，每个清洗池内设置温度传感器，通过传感器检测每个清洗池的温度，在检测出到某一清洗池的温度较高，RO水箱流入的冷水经过冷水流入管排入对应的清洗池，完成温度的调整。采用的换能液换热效率更高，壳加热部件从外向内加热，内加热部件从内向外加热，通过内外加热，实现加速物温提升效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及加热，具体涉及一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置。

技术介绍

1、现目前市面上现有的晶圆清洗高纯水加热装置普遍采用传统电加热工艺，传统电加热采用电阻丝即时发热，电能由电阻丝转换为热能再传导给需要加热物。传统电加热的缺陷是受电阻丝本身材质、换热面积影响，被加热物温升效率低下。

技术实现思路

1、为了实现上述技术目的，本技术提供了以下技术方案：

2、一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，包括若干清洗池，每个清洗池上均设置有药水流入管、热水流入管、冷水流入管以及排水管，若干药水流入管均接入药水箱，若干冷水流入管均接入ro水箱，若干排水管均接入收集槽中；

3、若干所述热水流入管和ro水箱与储能加热组件连接。

4、作为本申请优选的技术方案，储能加热组件包括换热器主体、支架、冷水流入管、热水流出管、壳加热部件、内加热部件以及过滤部件，换热器主体设置在支架上，换热器主体的两侧分别与冷水流入管和热水流出管连接；

5、所述壳加热部件设置在换热器主体的内壁上，内加热部件安装在换本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，其特征在于：包括若干清洗池(1)，每个清洗池(1)上均设置有药水流入管(2)、热水流入管(3)、冷水管(4)以及排水管(5)，若干药水流入管(2)均接入药水箱(6)，若干冷水管(4)均接入RO水箱(7)，若干排水管(5)均接入收集槽中；

2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，其特征在于：储能加热组件(8)包括换热器主体(81)、支架(82)、冷水流入管(83)、热水流出管(84)、壳加热部件(85)、内加热部件(86)以及过滤部件(87)，换热器主体(81)设置在支架(82)上，换热器主体(81)的两侧分别与冷水流入管(...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，其特征在于：包括若干清洗池(1)，每个清洗池(1)上均设置有药水流入管(2)、热水流入管(3)、冷水管(4)以及排水管(5)，若干药水流入管(2)均接入药水箱(6)，若干冷水管(4)均接入ro水箱(7)，若干排水管(5)均接入收集槽中；

2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，其特征在于：储能加热组件(8)包括换热器主体(81)、支架(82)、冷水流入管(83)、热水流出管(84)、壳加热部件(85)、内加热部件(86)以及过滤部件(87)，换热器主体(81)设置在支架(82)上，换热器主体(81)的两侧分别与冷水流入管(83)和热水流出管(84)连接；

3.如权利要求2所述的一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，其特征在于：所述冷水流入管(83)通过抱箍与ro水箱(7)的管口连接，冷水流入管(83)上设置有阀门。

4.如权利要求2所述的一种晶圆清洗高纯水高效...

【专利技术属性】
技术研发人员：程孝龙，张心仪，程佳祎，牛康民，程钊，
申请(专利权)人：南通宏德储能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：