【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器科学与，具体而言，涉及一种重力敏感单元的弹簧结构设计方法和系统。
技术介绍
1、自由几何反弹簧重力敏感单元是微机电系统（micro-electro-mechanicalsystem，下文简称mems）重力仪中的物理量转换单元，它具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点，是mems重力仪的核心组成部分之一，它的性能将直接影响重力加速度的测量精度。重力敏感单元的性能与其几何布局密切相关，重力敏感单元通常为一些简单的几何布局，故设计自由度不大，进一步约束了性能的提升。而通过自由几何形状布局可以从根本上突破简单几何的约束，获得超灵敏的敏感单元。
2、在重力敏感单元设计中加入了自由几何形状的反弹簧，便可形成自由几何反弹簧重力敏感单元。自由几何反弹簧重力敏感单元因其反弹簧的特性，存在很多影响其灵敏度的因素，其中最主要的便是弹簧的构型。
3、然而，重力敏感单元在地球物理学和精确测量辅助系统中所起到的作用决定需在几何布局上对其进行优化，以此来提升其测量精度。但现有设计方法获到的重力敏感单元往往存在性能不足的技...
【技术保护点】
1.一种重力敏感单元的弹簧结构设计方法，所述重力敏感单元包含敏感质量块（105）和通过两根连接杆（101）与所述敏感质量块（105）连接的四根弹簧（102）；
2.根据权利要求1所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：所述自由曲线为B样条曲线或贝塞尔曲线。
3.根据权利要求2所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：所述步骤五包括如下步骤：
4.根据权利要求3所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：所述步骤七包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：在...
【技术特征摘要】
1.一种重力敏感单元的弹簧结构设计方法，所述重力敏感单元包含敏感质量块（105）和通过两根连接杆（101）与所述敏感质量块（105）连接的四根弹簧（102）；
2.根据权利要求1所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：所述自由曲线为b样条曲线或贝塞尔曲线。
3.根据权利要求2所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：所述步骤五包括如下步骤：
4.根据权利要求3所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：所述步骤七包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：在所述步骤7.2中：
6.根据权利要求5所述的重力敏感单元的弹簧结构设计方法，其特征在于：在...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢乾波，王振山，孙佳欣，吴霜，周旭瑒，朱启轩，孙金帅，李楙沄，
申请(专利权)人：西北工业大学宁波研究院，
类型：发明
国别省市：
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