【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测领域，尤其涉及一种图像处理方法及系统、设备和存储介质。
技术介绍
1、随着技术的不断发展，精密加工被用到越来越多的领域，同时，对于加工精度也有越来越高的要求。为了满足加工精度的需求，提高产品的合格率，需要对产品进行在线检测，以确保满足产品制造的相关指标要求。
2、随着晶圆的精度越来越高，光学检测设备的精度也随着增加，数据量也呈指数级上升，要应对这种大的数据量，工业相机中线阵相机的使用越来越多，线阵相机维持一定频率进行触发，运动台维持一定的速度匀速运动，这也容易导致相机获取的晶圆图像发生畸变。
3、本申请的技术方案能够减小图像畸变，提高光学检测设备的检测精度。
技术实现思路
1、本专利技术解决的问题是提供一种图像处理方法及系统、设备和存储介质，能够减少图像的畸变，提高检测精度。
2、为解决上述问题，本专利技术提供了一种图像处理方法，包括：获取待测物的待测图像和模板图像，所述待测物包括多个周期性排列的待测单元，所述待测图像包括待测单元的单元...
【技术保护点】
1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，根据待测图像与模板图像的初始相对位置获取采样位置，包括：
3.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述匹配处理包括：在预设范围内获取待测图像与模板图像的多个相对位置，得到多个初始采样位置，所述预设范围包括所述采样位置，所有初始采样位置与采样位置之间的距离均小于所述初始周期；
4.根据权利要求3所述的图像处理方法，其特征在于，根据多个初始采样位置的相似度获取相似度最大或大于预设值的相对位置获取最佳采样位置，包括：
5.根据...
【技术特征摘要】
1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，根据待测图像与模板图像的初始相对位置获取采样位置，包括：
3.根据权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述匹配处理包括：在预设范围内获取待测图像与模板图像的多个相对位置，得到多个初始采样位置，所述预设范围包括所述采样位置，所有初始采样位置与采样位置之间的距离均小于所述初始周期；
4.根据权利要求3所述的图像处理方法，其特征在于，根据多个初始采样位置的相似度获取相似度最大或大于预设值的相对位置获取最佳采样位置，包括：
5.根据权利要求4所述的图像处理方法，其特征在于，获取待测图像与模板图像在预设范围内的多个相对位置，得到多个初始采样位置，包括：使所述待测图像与模板图像每隔固定步长相对移动，且每移动一次，获取该相对位置处的待测图像与模板图像的相对位置作为初始采样位置；所述固定步长为一个像素长度。
6.根据权利要求3所述的图像处理方法，其特征在于，获取多个初始采样位置处待测图像与模板图像的相似度，包括：获取初始采样位置处待测图像与模板图像对应点的图像表征参数之间的差值；并获取各对应点的所述差值的绝对表征值的均值表征值，得到差异表征值；所述绝对表征值包括绝对值或偶数次方，所述均值表征值包括：平均值或和值；根据所述差异表征值获取相似度，所述相似度与所述差异表征值负相关。
7.根据权利要求1～6任意一项所述的图像处理方法，其特征在于，通过匹配误差对待测图像进行修正，包括：通过所述匹配误差对所述初始周期进行补偿，获取相应采样位置处的目标周期。
8.根据权利要求7所述的图像处理方法，其特征在于，还包括：获取多个采样位置的匹配误差或目标周期作为目标值；对多个采样位置与目标值的对应关系进行第二扩充处理，获取多个目标位置与目标值的第二对应关系，所述多个目标位置中包括所述采样位置以及位于多个采样位置之间的其他相对位置。
9.根据权利要求1或8所述的图像处理方法，其特征在于，所述待测图像包括各点的坐标位置与图像表征参数的对应关系；所述图像处理方法还包括：根据修正后的待测图像获取与所述待测点沿初始周期方向的距离的周期数最小的多个点，得到参考点；根据所述参考点的图像表征参数形成参数阈值；使待测点的图像表征参数与所述参数阈值进行比较，以确定所述待测点是否为缺陷点。
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，李艳波，杨乐，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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