【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感器测试，尤其涉及一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置。
技术介绍
1、为了适应不同的测试需求，半导体式气体传感器通常有静态和动态两种测试方式。在测试voc气体时一般采用静态测试方法，静态测试方法是将传感器置于一定体积的封闭测试腔中，通过采集传感器的电阻变化获得该传感器对该测试气体的气敏性能。在气敏测试响应过程中，通过测试腔面板上的小孔将一定量测试气体对应的voc液体注入到测试腔内的加热丝上，液体加热汽化，得到不同浓度的测试气体。在气敏测试恢复过程中，打开测试腔的操作窗口，气体蒸汽自然释放到腔体外。在传统测量过程中会出现以下问题：1.受到测试箱外部环境影响，不能控制响应和恢复过程在设定湿度下进行测试。2.气敏测试恢复过程中，很难使测试气体马上离开测试腔体，恢复过程受气体扩散速度影响较大。
2、当测试气体不是voc气体时需要使用动态测试方法，动态测试过程必须由不同于静态测试的装置来实现，大大提高了测试成本。与静态测试方法不同的是，动态测试方法是将气体传感器放置在较小体积的测试腔中，测试气体从进气孔...
【技术保护点】
1.一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于：包括腔体(1)、腔体(2)和腔体(3)，腔体(1)和腔体(3)之间设置有4个支撑柱(16)；
2.如权利要求1所述的一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于，动态气体气敏性能测试方法如下：
3.如权利要求1所述的一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于，静态气体气敏性能测试方法如下：
4.如权利要求1所述的一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于，腔体(1)、腔体(2)、腔体(3)面板采用亚克力板，并且不限于亚克力板
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【技术特征摘要】
1.一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于：包括腔体(1)、腔体(2)和腔体(3)，腔体(1)和腔体(3)之间设置有4个支撑柱(16)；
2.如权利要求1所述的一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于，动态气体气敏性能测试方法如下：
3.如权利要求1所述的一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于，静态气体气敏性能测试方法如下：
4.如权利要求1所述的一种动静态一体的气体传感器阵列气敏性能测试装置，其特征在于，腔体(1)、腔体(2)、腔体(3)面板采用亚克力板，并且不限于亚克力板材质。
5.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯秋霞，张苏，曹淼尘，张雨晨，魏金硕，颜钡，范耀锋，
申请(专利权)人：青岛理工大学，
类型：发明
国别省市：
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