【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种液晶显示器所使用的玻璃基板生产设备，尤其涉及对玻璃基板进行热风烘烤系统中的热风供给设备。
技术介绍
1、平板显示器玻璃基板表面缺陷要求极为严格，为了制造平板显示器必须在平板状玻璃基板表面形成高精度的微细图案，其工艺是在玻璃基板上涂布光阻剂后进行真空干燥和预烘烤，通过真空干燥和预烘烤在玻璃基板上形成均匀一致的光阻覆盖膜，将再经曝光影后的玻璃基板送入烘烤温度达230℃—280℃的热风烘烤炉进行高温坚膜烘烤。坚膜烘烤的温度必须严格控制，坚膜烘烤温度低达不到烘烤效果，而温度过高会使光刻胶软化流动从而破坏图形，影响玻璃基板烘烤质量的关键因素是烘烤腔中温度场的稳定性和均匀一致性。
2、现有的玻璃基板烘烤设备主要由烘烤炉体、玻璃卡架和加热鼓风设备组成，其烘烤炉腔是一可以容纳多层玻璃基板的极大腔室，玻璃卡架和加热鼓风设备均位于烘烤炉体的加热腔中，炉腔外的新风经加热腔加热成高温热风后吹向玻璃卡架上待烘烤玻璃基板后经排放管排出。目前这种结构存在一些明显不足：首先，在烘烤腔中建立高温温度场的过程中，会产生加热温度低或加热温度波动...
【技术保护点】
1.显示器基板高温烘烤炉匀化热风供给设备，包括烘烤炉体(1)，以及安装于烘烤炉体(1)烘烤腔中的滤清器(3)，其特征在于：所述滤清器(3)的加热侧设置有相互叠置的若干层级供热单元(14)；所述层级供热单元(14)包括供热单元壳体(6)，在供热单元壳体(6)的供热端口固定设置有竖向导流器(5)，竖向导流器(5)的供热侧固定设置有横向导流器(4)；竖向导流器(5)与供热单元壳体(6)围成稳流稳压腔(11)；在所述稳流稳压腔(11)的腔内分隔有加热腔(7)，加热器(9)和鼓风机(10)设置于加热腔(7)中，所述鼓风机(10)的出风口朝向稳压腔(11)；所述竖向导流器(5)包...
【技术特征摘要】
1.显示器基板高温烘烤炉匀化热风供给设备，包括烘烤炉体(1)，以及安装于烘烤炉体(1)烘烤腔中的滤清器(3)，其特征在于：所述滤清器(3)的加热侧设置有相互叠置的若干层级供热单元(14)；所述层级供热单元(14)包括供热单元壳体(6)，在供热单元壳体(6)的供热端口固定设置有竖向导流器(5)，竖向导流器(5)的供热侧固定设置有横向导流器(4)；竖向导流器(5)与供热单元壳体(6)围成稳流稳压腔(11)；在所述稳流稳压腔(11)的腔内分隔有加热腔(7)，加热器(9)和鼓风机(10)设置于加热腔(7)中，所述鼓风机(10)的出风口朝向稳压腔(11)；所述竖向导流器(5)包括若干竖向布置的竖向导流栅板(13)，相对设置的两竖向导流栅板(13)构成喇叭状的竖向导流通道，该竖向导流通道包括有竖向平滑通道段和竖向压缩通道段；所述竖向平滑通道宽度b2＝5mm—8mm，竖向平滑通道长度l4＝5—8mm；竖向压缩通道长度l5＝15mm—20mm，竖向压缩通道锥角γ＝20°—30°；所述横向导流器(4)包括若干横向布置的横向导流栅板(12)，相对设置的两横向导流栅板(12)构成的通道依次包括横向压缩通道段、横向平滑通道段和横向扩张通道段；所述横向压缩通道段的端口宽度b1＝5—8mm，横向平滑通道长度l1＝5—8mm，横向压缩通道长度l2＝15—20mm,横向扩张通道长度l3＝25—30mm；横向压缩通道锥角α＝20°—30°，横向扩张通道锥角β＝10°—20°。
2.根据权利要求1所述的显示器基板高温烘烤炉匀化热风供给设备，其特征在于：所述供热单元壳体(6)呈u型截面，所述竖向导流器(5)位于供热单元...
【专利技术属性】
技术研发人员：万堃鋆，潘明华，
申请(专利权)人：江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。