用于介质的主动衰减的补偿元件、方法和系统技术方案

技术编号:43094301 阅读:20 留言:0更新日期:2024-10-26 09:40
本发明专利技术涉及一种用于介质(24)、尤其是流体的振动的主动衰减补偿元件(1、10‑16)。补偿元件包括空心体(20)和至少一个致动器(30),空心体具有内部体积(23),其中在内部体积(23)中构造有补偿体积(41),其中空心体(20)还具有至少两个开口(21、22),这些开口能够将补偿体积(41)与用于输入和输出介质(24)的流体管路(51、52)连接在一起,其中补偿元件(1、10‑16)能够无损地与流体管路(51、52)分开,致动器在运行中能够增大或缩小补偿体积(41)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术一般性地涉及用于介质的主动衰减、尤其是流体的振动的一种补偿元件和方法以及系统。通过补偿元件能够例如补偿管路系统中的压力波动。


技术介绍

1、长期以来通过介质、尤其流体传递振动是一个问题。尤其对于不可压缩的液体而言,仅对传播中的振动进行轻微的衰减,使得这些振动会广泛地传播。这例如涉及填充有液体的管路系统,在这些管路系统上联接敏感机器和设备,并且这些管路系统对管路系统中的恒定压力提出相应高的要求。为了减少可能的压力波动已经开发了各种解决方案。

2、因此,例如膨胀箱作为准柔性补偿器是已知的,这些膨胀箱能够在闭合的管路系统中在压力升高时扩大管路体积,反之则在压力降低时减小管路体积。但是这会导致补偿器或膨胀箱下游的压力变低。

3、在此对于特定的应用、例如对于针对恒定压力比提出非常高要求的精密仪器而言,可能需要用于膨胀箱的相对较大的体积,从而有效地补偿压力变化。尤其对于比如水等不可压缩的流体而言,压力变化会导致振动,这些振动可能在管路系统中被多次反射并因此被输送经过较长距离。在此例如可能会影响或甚至损坏敏感仪器、例如电子束仪器,或传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于介质的主动衰减的振动的补偿元件,所述补偿元件包括:

2.根据前述权利要求所述的补偿元件,其特征在于,所述介质包括气态或液态形式的流体,尤其是在0.1Mpa的标准压力下并且在10℃的温度下具有至少1.0·109 Pa、优选至少1.5·109 Pa、特别优选至少2.0·109 Pa的压缩模量的液态流体。

3.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述流体包括侵蚀性或腐蚀性的气体或液体,例如电导率为1-50 µS/cm、优选电导率为0.1-1 µS/cm、特别优选电导率为0.055-0.1 µS/cm的去矿物质水、尤其是例如应用在半导体工业中的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于介质的主动衰减的振动的补偿元件,所述补偿元件包括:

2.根据前述权利要求所述的补偿元件,其特征在于,所述介质包括气态或液态形式的流体,尤其是在0.1mpa的标准压力下并且在10℃的温度下具有至少1.0·109 pa、优选至少1.5·109 pa、特别优选至少2.0·109 pa的压缩模量的液态流体。

3.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述流体包括侵蚀性或腐蚀性的气体或液体,例如电导率为1-50 µs/cm、优选电导率为0.1-1 µs/cm、特别优选电导率为0.055-0.1 µs/cm的去矿物质水、尤其是例如应用在半导体工业中的超纯水,或例如介电液体。

4.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述介质包含在流体管路中、管路系统中、液压路径中、压力管路中或包含在合适的容器或器皿中。

5.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述补偿元件的开口与所述流体管路力锁合和/或形状锁合地连接,其中在运行中,粘性介质能够从所述流体管路到达或流入所述补偿体积中。

6.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述补偿元件能够无损地与所述流体管路分开。

7.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述补偿元件直接与机器、设备部件或仪器能够连接或被连接,其中,所述连接构造成优选能够无损地拆卸。

8.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,补偿元件和流体管路之间的连接构造成流体密封的。

9.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述空心体的第一开口与所述流体管路的经受压力波动的至少一个区段连接,和/或所述空心体的第二开口与所述流体管路。

10.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述致动器布置在所述内部体积之外。

11.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述致动器布置在所述空心体的内部体积中。

12.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述致动器在运行中优选根据所述流体管路中的压力波动通过运动、优选通过升程运动能够改变所述补偿体积的尺寸。

13.根据前述权利要求中任一项所述的补偿元件,其特征在于,所述致动器包括基于磁、压电或静电原理的执行器或其组合。

14....

【专利技术属性】
技术研发人员:J·哈特格斯R·韦霍夫
申请(专利权)人:集成动力工程股份有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1