【技术实现步骤摘要】
本技术涉及特种气体输送相关，尤其涉及一种特种气体供应系统。
技术介绍
1、特种气体(specialtygases)门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，医用气，焊接气，杀菌气等，广泛用于电子，电力，石油化工，采矿，钢铁，有色金属冶炼，热力工程，生化，环境监测，医学研究及诊断，食品保鲜等领域。
2、经过海量检索，发现现有技术公开号为cn217030801u，公开了一种乙硅烷充装系统，包括集成进气柜，集成进气柜包括预冷柜和负压阀箱，预冷柜内设置有若干个充装钢瓶，充装钢瓶的瓶体设置在预冷柜内，充装钢瓶上的瓶头通过充装接头与总充装管路相连接，总充装管路分别与第一充装支路、第二充装支路、第三充装支路、第四充装支路和第五充装支路相连接。本技术一种乙硅烷充装系统，通过集成进气柜和若干个充装钢瓶的结构设置，提高充装操作的功能性以及工作效率。本技术自动化程度较高，管路设置合理，使用方便。
3、综上所述，现有的特种气体充装系统中的氮气吹扫过程是通过一个公用的氮气吹送管路进行的，这样会使得不能够对单独的充装钢瓶的充装管路进行...
【技术保护点】
1.一种特种气体供应系统，包括负压箱体(1)，在所述负压箱体(1)内靠近底部的位置沿着水平方向安装有至少一个第一充装钢瓶(2)，在所述负压箱体(1)内靠近顶部的位置安装有至少一个排空接口(21)、进氮接口(22)和出气接口(23)以及一个排气接口(24)；
2.如权利要求1所述的一种特种气体供应系统，其特征在于，在所述排气第一汇集管路(7)和排气第二汇集管路(9)之间还设置有一个排气预留支路(6)，所述排气第二汇集管路(9)可通过排气预留支路(6)与第一排气支路(5)相连接。
3.如权利要求2所述的一种特种气体供应系统，其特征在于，在所述排气预...
【技术特征摘要】
1.一种特种气体供应系统，包括负压箱体(1)，在所述负压箱体(1)内靠近底部的位置沿着水平方向安装有至少一个第一充装钢瓶(2)，在所述负压箱体(1)内靠近顶部的位置安装有至少一个排空接口(21)、进氮接口(22)和出气接口(23)以及一个排气接口(24)；
2.如权利要求1所述的一种特种气体供应系统，其特征在于，在所述排气第一汇集管路(7)和排气第二汇集管路(9)之间还设置有一个排气预留支路(6)，所述排气第二汇集管路(9)可通过排气预留支路(6)与第一排气支路(5)相连接。
3.如权利要求2所述的一种特种气体供应系统，其特征在于，在所述排气预留支路(6)上安装有恒流阀、压力表、手动微漏阀、朝向第一排气支路(5)一侧流向的单向阀和气动隔离阀。
4.如权利要求1所述的一种特种气体供应系统，其特征在于，在所述第一供应支路(11)和第二供应支路(12)之间还设置有一个中间并联管路(13)，所述第一供应支路(11)靠近中部的第四端通过中间并联管路(13)与第二供应支路(12)靠近中部的第三端相连接。
5.如权利要求4所述的一种特种气体供应系统，其特征在于，在所述中间并联管路(13)上安装有气动隔离阀和朝向第一供应支路(11)一侧流向的单向阀。
6.如权利要求1所述的一种特种气体供应系统，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐有佩，
申请(专利权)人：苏州凯米科机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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