【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备，特别涉及一种机械手臂监控装置及方法、半导体工艺设备。
技术介绍
1、在半导体
，晶圆需要在不同的腔室中传送，以在晶圆上实现不同的加工工艺。其中，对晶圆进行传送所使用的工具一般为机械手臂。具体而言，机械手臂用于对腔室中的晶圆(wafer)进行取放和传送，以实现在机台内各个模块之间的连接，从而在一个机台内实现自动化功能。然而，机械手臂在传送晶圆时会出现不稳定的现象，例如，机械手臂出现震动异常或者点位偏移等。但现有技术中，无法监控机械手臂是否出现震动异常以及是否发生点位偏移，只能通过人工进行固定周期的保养和损坏后维修，即无法提前预知机械手臂的运行是否存在异常，从而会出现无预警停机，进而造成产品报废和产能损失。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种机械手臂监控装置及方法、半导体工艺设备，能够在机械手臂取放晶圆时实时监控机械手臂是否存在震动异常，以及能够监控机械手臂是否存在点位偏移。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种机械手臂监控装置，包括：...
【技术保护点】
1.一种机械手臂监控装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的机械手臂监控装置，其特征在于，所述机械手臂包括机械手臂本体、牙叉和转轴，所述机械手臂本体与所述牙叉通过所述转轴连接，所述牙叉用于取放所述晶圆。
3.如权利要求2所述的机械手臂监控装置，其特征在于，所述震动检测单元和所述测距单元均固定于所述牙叉上，且所述震动检测单元和所述测距单元间隔设置。
4.如权利要求1所述的机械手臂监控装置，其特征在于，所述测距单元包括三个激光测距传感器，三个所述激光测距传感器用于向三个相互垂直的方向上的所述传输腔室的内壁发出激光脉冲，并接收自所...
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂监控装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的机械手臂监控装置，其特征在于，所述机械手臂包括机械手臂本体、牙叉和转轴，所述机械手臂本体与所述牙叉通过所述转轴连接，所述牙叉用于取放所述晶圆。
3.如权利要求2所述的机械手臂监控装置，其特征在于，所述震动检测单元和所述测距单元均固定于所述牙叉上，且所述震动检测单元和所述测距单元间隔设置。
4.如权利要求1所述的机械手臂监控装置，其特征在于，所述测距单元包括三个激光测距传感器，三个所述激光测距传感器用于向三个相互垂直的方向上的所述传输腔室的内壁发出激光脉冲，并接收自所述传输腔室的内壁反射的所述激光脉冲，以获取所述测距单元在三个相互垂直的方向上分别与所述传输腔室的内壁之间的距离。
5.如权利要求1所述的机械手臂监控装置，其特征在于，所述第二控制单元与所述机械手臂信号连接，所述第二控制单元还用于在所述机械手臂取放所述晶圆之前或之后，发出控制信号使所述机械手臂在预定...
【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，李建财，赖正锦，刘伟，
申请(专利权)人：杭州积海半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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