一种湿制程化学处理设备制造技术

本技术涉及一种湿制程化学处理设备，包括壳体，以及设置在壳体内部的槽体、泵浦、过滤组件和抽气组件；过滤组件的进液端伸入至槽体的内侧底部，过滤组件的出液端与泵浦的进液管连接，槽体内设置有与泵浦的出液管连通的注液管。本技术通过将槽体设置在壳体内部并通过抽气组件将槽体内挥发的药液蒸气快速抽离，从而可以避免槽体内的挥发药液进入工作车间造成环境污染并减小了反应气体对人体造成的危害，增加了设备的安全性；通过内置滤袋等过滤组件的形式对反应药液进行过滤后，再通过泵浦将药液循环输送到槽体内与硅片进行反应，有效减少了药液的浪费，降低了使用成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏硅片生产制程，尤其是一种湿制程化学处理设备。

技术介绍

1、在太阳能电池片制程中，硅片需要经过制绒、清洗等多道工序，因此需要用到多个装有对应药液的湿制程化学处理设备。

2、现有的湿化学处理设备的结构为上下槽体结构，下槽体中加药水达到配槽容积后，泵浦将下槽体中的药水抽入过滤桶过滤后再注入上槽体内，上槽体的药水溢流至下槽体内实现药水的循环过程。目前，向下槽体中配液的过程需要人工操作，药水挥发出的气体、药水与硅片反应产生的气体容易对工作人员造成损害。

技术实现思路

1、因此，本技术的目的在于，提供一种湿制程化学处理设备，其至少部分地解决了现有技术中的问题。技术方案为：

2、一种湿制程化学处理设备，包括壳体，以及设置在所述壳体内部的槽体、泵浦、过滤组件和抽气组件；

3、所述过滤组件的进液端伸入至所述槽体的内侧底部，所述过滤组件的出液端与所述泵浦的进液管连接，所述槽体内设置有与所述泵浦的出液管连通的注液管，所述泵浦将经过所述过滤组件过滤后的药液从所述注液管注入所述槽体内本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种湿制程化学处理设备，其特征在于，包括壳体(100)，以及设置在所述壳体(100)内部的槽体(200)、泵浦(300)、过滤组件(400)和抽气组件；

2.根据权利要求1所述的湿制程化学处理设备，其特征在于，所述壳体(100)通过内部的分隔板(600)分割为相互独立的AB区及C区，所述槽体(200)、过滤组件(400)和抽气组件设置在AB区内，所述泵浦(300)设置在C区内。

3.根据权利要求2所述的湿制程化学处理设备，其特征在于，所述抽气组件包括竖向设置在所述壳体(100)内部的抽风墙(500)以及设置在所述壳体(100)顶部并与所述抽风墙(500)连通的...

【技术特征摘要】

1.一种湿制程化学处理设备，其特征在于，包括壳体(100)，以及设置在所述壳体(100)内部的槽体(200)、泵浦(300)、过滤组件(400)和抽气组件；

2.根据权利要求1所述的湿制程化学处理设备，其特征在于，所述壳体(100)通过内部的分隔板(600)分割为相互独立的ab区及c区，所述槽体(200)、过滤组件(400)和抽气组件设置在ab区内，所述泵浦(300)设置在c区内。

3.根据权利要求2所述的湿制程化学处理设备，其特征在于，所述抽气组件包括竖向设置在所述壳体(100)内部的抽风墙(500)以及设置在所述壳体(100)顶部并与所述抽风墙(500)连通的排气管(800)，所述抽风墙(500)将所述壳体(100)内部的ab区分隔为相互独立的作为反应区的a区和作为维护区的b区；

4.根据权利要求3所述的湿制程化学处理设备，其特征在于，所述抽风墙(500)包括对应所述a区设置的第一墙板(530)，和对应所述b区设置的第二墙板(540)，所述第一墙板(530)与所述第二墙板(540)之间形成与所述排气管(800)连通的出气通道(510)，且所述第一墙板(530)与所述第二墙板(540)上均开设有分别对应所述a区及所述b区的进气口一(520)。

5.根据权利要求4所述的湿制程...

【专利技术属性】
技术研发人员：张淋，李益凡，吴敏瑞，
申请(专利权)人：苏州普伊特自动化系统有限公司，
类型：新型
国别省市：