一种高功率发生器及高功率脉冲的供应方法技术

本发明专利技术涉及一种高功率发生器(10)和一种向容性负载，特别是向等离子体过程提供具有高电压值和/或高电流值的脉冲高功率的方法，所述高功率发生器包括：若干低功率发生器(14、16、18)，每个低功率发生器(14、16、18)包括储能组件(C1、L1)，中，在使用中，所述储能组件(C1、L1)被充电到与所述储能组件相关的预定值，每个低功率发生器(14、16、18)在使用中在其输出端提供低功率发生器值，所述低功率发生器值对应于包括在相应的低功率发生器(14、16、18)中的储能组件(C1、C2、Cn、L1、L2、Ln)的值，耦合器(20)，其中，低功率发生器(14、16、18)电连接，使得能够获得与高功率发生器(10)的输出值相对应的耦合器(20)输出端的耦合值，高功率发生器并且所述耦合值在使用中至少在高功率发生器(10)的某些状态下高于其中一个低功率发生器(14，16，18)输出端的低功率发生器值,控制单元(22)，其配置成能够在所述高功率发生器(10)的功率传输期间选择低功率发生器(14、16、18)对高功率发生器(10)的输出值的贡献，以便在所述耦合器(20)的输出端产生脉冲的上升和/或衰减，其中，所述控制单元(22)还被配置成能够以实现以下特征之一或组合的方式选择所述低功率发生器(14、16、18)的贡献：所述耦合器(20)的输出和/或高功率发生器(10)的输出是阶跃函数，特别是在脉冲的上升沿和/或下降沿和/或脉冲期间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种高功率(hp)发生器，其配置成能够向容性负载，特别是向等离子体过程提供具有高电压值和/或高电流的高功率脉冲。本专利技术还涉及一种为等离子体过程提供高功率脉冲的方法。

技术介绍

1、容性负载是指具有容性部分的负载，这意味着该负载上的电压上升意味着高电流能力。在这些情况下，电容部分可以至少为100pf，优选为200pf或更高，例如在500pf左右。这可能是等离子体处理过程中的负载，例如，等离子体处理应用。

2、一些等离子体处理应用，如蚀刻或层沉积，需要高电压(hv)、高频(hf)、矩形、不对称的脉冲电压供应。通常，电压值大大超过单个半导体开关的电压处理能力，尤其是在需要高频操作时。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提出一种高功率发生器和一种向等离子体提供高功率脉冲的方法，该方法允许以快速变化的功率(脉冲)供应等离子体过程。

2、根据第一方面，本专利技术涉及一种高功率(hp)发生器，该发生器配置能够向负载，特别是向等离子体过程提供具有高电压值和/或高电流值的高功率，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高功率发生器(10)，其配置成能够向容性负载，特别是向等离子体过程传输具有高电压值和/或高电流值的脉冲高功率，所述高功率发生器包括：

2.一种高功率发生器(10)，其配置成能够向容性负载，特别是向等离子体过程传输具有高电压值和/或高电流值的脉冲高功率，所述高功率发生器包括：

3.根据权利要求1或2所述的高功率发生器，其特征在于，所述低功率发生器(14、16、18)的充电能量通过变压器(T1、T2、..Tn)提供，所述变压器具有初级绕组(P1、P2、..Pn)和用于每个低功率发生器(14、16、18)的次级绕组(SW1、SW2、..SWn)，所述次级绕组(S...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种高功率发生器(10)，其配置成能够向容性负载，特别是向等离子体过程传输具有高电压值和/或高电流值的脉冲高功率，所述高功率发生器包括：

2.一种高功率发生器(10)，其配置成能够向容性负载，特别是向等离子体过程传输具有高电压值和/或高电流值的脉冲高功率，所述高功率发生器包括：

3.根据权利要求1或2所述的高功率发生器，其特征在于，所述低功率发生器(14、16、18)的充电能量通过变压器(t1、t2、..tn)提供，所述变压器具有初级绕组(p1、p2、..pn)和用于每个低功率发生器(14、16、18)的次级绕组(sw1、sw2、..swn)，所述次级绕组(sw1、sw2、..swn)连接到整流器(x1、x2、..xn)，每个整流器(x1、x2、..xn)连接到相应的低功率发生器(14、16、18)的储能组件(c1，c2，cn，l1，l2，ln)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的高功率发生器，其特征在于，所述低功率发生器(14、16、18)的充电能量通过变压器(t1、t2、..tn)提供，所述变压器具有初级绕组(p1、p2、..pn)和用于每个低功率发生器(14、16、18)次级绕组(sw1、sw2、..swn)，并且若干初级绕组(p1、p2、..pn)，特别是对应于低功率发生器的变压器的每个初级绕组都串联连接。

5.根据前述权利要求中任一项所述的高功率发生器，其特征在于，所述低功率发生器(14、16、18)的充电能量通过变压器(t1、t2、..tn)提供，并且其中，若干，特别是对应于低功率发生器的每个变压器能够包括平衡绕组(bw)，优选地包括两个平衡绕组，并且优选地一个变压器(t1)的一个平衡绕组(bw)能够连接到不同的变压器(t2)的平衡绕组。

6.根据前述权利要求中任一项所述的高功率发生器，其特征在于，平衡电路连接在两个低功率发生器之间，所述平衡电路包括仅允许电流沿一个方向流动的组件，特别是二极管d或像二极管一样工作的组件。

7.根据前述权利要求中任一项所述的高功率发生器，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·克利梅扎克，A·吉拉托斯基，M·巴尔切拉克，
申请(专利权)人：通快许廷格有限公司，
类型：发明
国别省市：