【技术实现步骤摘要】
本公开大体上涉及成像叠加计量，且更特定来说，涉及具有云纹元件的成像叠加目标。
技术介绍
1、叠加计量的缩小设计规则及更苛刻的规范正驱动对叠加计量方法的灵敏度及稳健性的增加需求。叠加计量通常通过在多个所关注样本层中制造具有经制造特征的专用计量目标来执行。因此，经制造计量目标的分析可提供所关注样本层之间的叠加误差(例如，相对对准误差)的测量。虽然已提出各种各样的叠加计量目标设计，但仍持续需要改进计量目标设计以及用于准确及有效地分析经制造计量目标的测量方法。
技术实现思路
1、公开一种根据本公开的一或多个说明性实施例的计量目标。在一个说明性实施例中，所述目标包含包括第一图案的一或多个例子的第一工作区，其中所述第一工作区是旋转对称的。在另一说明性实施例中，所述目标包含包括第二图案的一或多个例子的第二工作区，其中所述第二工作区是旋转对称的。在另一说明性实施例中，所述第一图案或所述第二图案中的至少一者是由在第一样本层上的具有沿着一测量方向的第一节距的第一光栅结构及在第二样本层上的具有沿着所述测量方向的...
【技术保护点】
1.一种用于设计云纹计量目标的方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中用于所述云纹条纹图案的所述选定设计准则包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述目标设计参数集进一步包含所述第一光栅结构的临界尺寸、所述第二光栅结构的临界尺寸、所述第一光栅结构的分割周期、所述第二光栅结构的分割周期、所述第一光栅结构的大小或所述第二光栅结构的大小中的至少一者。
4.根据权利要求1所述的方法，其中使用基于马克士威的模拟或克希何夫近似中的至少一者模拟串扰。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述成像系统包括：
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【技术特征摘要】
1.一种用于设计云纹计量目标的方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中用于所述云纹条纹图案的所述选定设计准则包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述目标设计参数集进一步包含所述第一光栅结构的临界尺寸、所述第二光栅结构的临界尺寸、所述第一光栅结构的分割周期、所述第二光栅结构的分割周期、所述第一光栅结构的大小或所述第二光栅结构的大小中的至少一者。
4.根据权利要求1所述的方法，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：Y·弗莱，M·吉诺乌克，D·沙皮罗乌，E·古列维奇，V·莱温斯基，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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