【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵，尤其涉及一种真空泵控制器的故障检测方法和装置。
技术介绍
1、在半导体工业中，二手设备因其较低的价格和相对可靠的性能而备受许多企业青睐。然而，随着二手设备的使用时间不断延长，其中的配件和零部件供应变得愈发困难。这一挑战主要源自两个方面：一方面，随着时间的推移，旧产品停产，导致对其配件和零部件的供应逐渐减少；另一方面，新产品的出现使得旧型号设备的零部件更加难以获得，因为新产品通常不再兼容旧设备。在这种情况下，分子泵和分子泵控制器作为设备中维持高真空所必需的关键组件，对设备的稳定运行至关重要。
2、然而，由于分子泵控制器的复杂性和易损性，给设备的维护带来了诸多挑战。现有的维修方法主要依赖于工程师的经验，通过更换零部件来排查问题，效率较低且无法快速定位故障位置。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种真空泵控制器的故障检测方法和装置，以解决现有技术中存在的问题，通过模拟真空泵的各阶段的反馈信号，快速定位到真空泵控制器的故障，提高了分子泵控制器的故障检测的效率。<...
【技术保护点】
1.一种真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，根据真空泵控制器输出的轴承控制信号和第一关系函数，确定真空泵控制器的轴承控制阶段是否故障，包括：
3.根据权利要求2所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求2所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，在所述真空泵控制器的轴承控制阶段未故障时，根据所述真空泵控制器的加速驱动信号和预设驱动信号，确定...
【技术特征摘要】
1.一种真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，根据真空泵控制器输出的轴承控制信号和第一关系函数，确定真空泵控制器的轴承控制阶段是否故障，包括：
3.根据权利要求2所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求2所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的真空泵控制器的故障检测方法，其特征在于，在所述真空泵控制器的轴承控制阶段未故障时，根据所述真空泵控制器的加速驱动信号和预设驱动信号，确定所述真空泵控制器的加速驱动阶段是否故障...
【专利技术属性】
技术研发人员：周楠，相宇阳，李玲娅，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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