一种弹性波谐振器及弹性波滤波器装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种弹性波谐振器及弹性波滤波器装置，弹性波谐振器包括至少两个串联设置的子谐振器；子谐振器均包括叉指换能器以及反射栅；叉指换能器包括多个叉指电极，即多个第一叉指电极和多个第二叉指电极；反射栅包括多个第三指状电极；相邻两个子谐振器中，存在至少两项结构参数不同；结构参数包括叉指电极的周期、叉指电极的数量、第三指状电极的数量、子谐振器的孔径、叉指电极的宽度，第一叉指电极的长度、叉指电极的间隙、叉指电极的厚度、叉指电极的占空比、第一叉指电极的边界轮廓、叉指电极的连接方式和叉指电极的材料配比，如此能改善级联谐振器中的杂波响应叠加，减弱弹性波谐振器禁带内的杂波寄生，提高谐振器性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及射频滤波器，尤其涉及一种弹性波谐振器及弹性波滤波器装置。

技术介绍

1、在声表面波器件上，电信号施加在叉指换能器（interdigital transducer，idt）电极上激发主声波模式，激励的声波信号向idt电极两侧传播，在idt两侧设置的反射栅能够抑制声波泄露，进而可以防止所需的声波模式被衰减，从而形成谐振器。多个此类型的谐振器相互连接便构成了声表面波滤波器。

2、近年来，随着5g通信技术发展，对于声表面波器件提出了小型化、高频率以及高功率等要求。一方面小型化和高频率需要器件的谐振器面积要小，封装复杂，idt的周期更小，idt金属电极的距离也会变小。另一方面为了实现高功率，需要更大的散热路径，更大的功率耐受能力。然而，小型化、高频率和高功率是一个相对矛盾的需求，为了实现小型化和高功率则会造成每个谐振器上的高的功率分布，导致idt上存在高的电场应力和机械应力，从而使idt的金属电极更让容易被破坏，降低了其寿命。现阶段，一个可行且广泛使用的方案是通过多个子谐振器串联（即级联）连接替代一个较小的谐振器实现提升其功率寿命。

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【技术保护点】

1.一种弹性波谐振器，其特征在于，包括：至少两个串联设置的子谐振器；

2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述结构参数包括模态参数以及频率响应参数；

3.根据权利要求2所述的弹性波谐振器，其特征在于，相邻两个所述子谐振器中，所述叉指电极的周期之间的差值为p1、所述叉指电极的宽度之间的差值为p2、所述叉指电极的占空比之间的差值为p3以及所述叉指电极的厚度之间的差值为p4；其中，p1≤30%，p2≤30%，p3≤30%，p4≤30%；

4.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，至少两个串联级联的子谐振器包括沿所述第二方向排列的第一子谐...

【技术特征摘要】

1.一种弹性波谐振器，其特征在于，包括：至少两个串联设置的子谐振器；

2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述结构参数包括模态参数以及频率响应参数；

3.根据权利要求2所述的弹性波谐振器，其特征在于，相邻两个所述子谐振器中，所述叉指电极的周期之间的差值为p1、所述叉指电极的宽度之间的差值为p2、所述叉指电极的占空比之间的差值为p3以及所述叉指电极的厚度之间的差值为p4；其中，p1≤30%，p2≤30%，p3≤30%，p4≤30%；

4.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其特征在于，至少两个串联级联的子谐振器包括沿所述第二方向排列的第一子谐振器以及第二子谐振器；

5.根据权利要求4所述的弹性波谐振器，其特征在于，所述第一子谐振器中的叉指电极的周期与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马阳阳，姜建利，童秋群，朱德进，梁丹，
申请(专利权)人：天通瑞宏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：