【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅烷生产，具体涉及一种硅烷生产系统。
技术介绍
1、多晶硅作为集成电路、光伏发电等领域的关键材料，其成本与质量对光伏行业的发展起着重要作用。
2、目前多晶硅生产的主流技术为以三氯氢硅为原料的改良西门子法和以硅烷为原料的流化床法，相对于改良西门子法而言，硅烷流化床法生产的颗粒硅具有节能、环保、高效等优势。
3、而硅烷作为硅烷流化床法生产多晶硅的主要中间产物，其生产成本与效率将直接影响颗粒硅的生产成本。目前硅烷常用的制备方法是：将三氯氢硅通过歧化反应进行制备，而歧化法制备硅烷存在副产物不能充分利用的缺陷。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种硅烷生产系统，通过设置第一反应精馏装置和第二反应精馏装置，第一反应精馏装置用于进行第一次歧化反应，得到粗硅烷源；第二反应精馏装置用于将分离装置分离出来的氯硅烷混合液进行第二次歧化反应，而第二反应精馏装置中未反应的氯硅烷混合液则回流至第一反应精馏装置中，继续进行歧化反应；以此提高氯硅烷的转化率。<...
【技术保护点】
1.一种硅烷生产系统，其特征在于，包括用于对三氯氢硅进行第一次歧化反应的第一反应精馏装置(1)、能够分离得到硅烷气的分离装置(2)、用于将硅烷气冷凝和储存的储存装置(3)，以及用于进行第二次歧化反应的第二反应精馏装置(4)；
2.根据权利要求1所述的一种硅烷生产系统，其特征在于，所述第一反应精馏装置(1)还包括出液口，分离装置(2)的出液口和第二反应精馏装置(4)的进液口之间设有第一换热器(5)和第二换热器(6)；
3.根据权利要求2所述的一种硅烷生产系统，其特征在于，所述第二换热器(6)的壳程进口连接蒸汽源，第二换热器的壳程出口连接有排液管。
4.根...
【技术特征摘要】
1.一种硅烷生产系统，其特征在于，包括用于对三氯氢硅进行第一次歧化反应的第一反应精馏装置(1)、能够分离得到硅烷气的分离装置(2)、用于将硅烷气冷凝和储存的储存装置(3)，以及用于进行第二次歧化反应的第二反应精馏装置(4)；
2.根据权利要求1所述的一种硅烷生产系统，其特征在于，所述第一反应精馏装置(1)还包括出液口，分离装置(2)的出液口和第二反应精馏装置(4)的进液口之间设有第一换热器(5)和第二换热器(6)；
3.根据权利要求2所述的一种硅烷生产系统，其特征在于，所述第二换热器(6)的壳程进口连接蒸汽源，第二换热器的壳程出口连接有排液管。
4.根据权利要求2所述的一种硅烷生产系统，其特征在于，所述第一反应精馏装置(1)包括第一反应精馏塔(11)、第一冷凝器(12)、回流罐(13)、加压泵一(14)和加压泵二(15)；第一反应精馏塔(11)包括出气口、回流口、进液口一、进液口二和出液口；
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：许跃，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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