【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学，具体涉及一种光路调整装置、激光光路调整系统和方法。
技术介绍
1、在众多激光应用场景（如激光加工、激光检测、激光刻蚀等）中，均需要搭建光路系统将激光传输至目标位置进行加工或作用。例如，在等离子体激光测量装置中，需要先调整好激光光路，且在测量过程中需要持续的保持激光光路稳定。但是光路的调整往往比较复杂又耗时，且在使用过程中受周围环境影响光路极易发生偏斜，尤其是对于需要改变光路传输方向时，例如，改变0°-180°之间的光路传输方向时，往往需要平面镜反射，在对平面镜进行调整时，至少需要调整两个维度的角度，才能保证传输路径的准确，然而，两个及两个以上维度的调整，不仅调整难度高，由于通过多个维度确定一个反射方向，致使其稳定性差，难以维护，容易导致检测或加工出现较大误差或错误。
2、因此，如何降低光路调整难度、增加光路稳定性成为亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种光路调整装置、激光光路调整系统和方法，以解决如何降低光路调整难度、增加光路稳定性的技术
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【技术保护点】
1.一种光路调整装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光路调整装置，其特征在于，所述第一角度调节组件包括第一转动轴和第一转动旋钮，所述第一转动轴穿过所述第一通孔，一端与所述第一转动旋钮固定连接，相对的另一端与所述第一安装座的第二面固定连接；
3.如权利要求1所述的光路调整装置，其特征在于，还包括角度传感器和角度传递机构，所述角度传递机构分别将中空屋脊棱镜反射镜绕所述第二坐标轴和/或所述第三坐标轴的角度偏移传递至所述角度传感器。
4.如权利要求3所述的光路调整装置，其特征在于，所述角度传递机构包括：第一传动轴，第二传动轴和第
【技术特征摘要】
1.一种光路调整装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光路调整装置，其特征在于，所述第一角度调节组件包括第一转动轴和第一转动旋钮，所述第一转动轴穿过所述第一通孔，一端与所述第一转动旋钮固定连接，相对的另一端与所述第一安装座的第二面固定连接；
3.如权利要求1所述的光路调整装置，其特征在于，还包括角度传感器和角度传递机构，所述角度传递机构分别将中空屋脊棱镜反射镜绕所述第二坐标轴和/或所述第三坐标轴的角度偏移传递至所述角度传感器。
4.如权利要求3所述的光路调整装置，其特征在于，所述角度传递机构包括：第一传动轴，第二传动轴和第三传动轴，其中，
5.如权利要求4所述的光路调整装置，其特征在于，
6.如权利要求1所述的光路调整装置，其特征在于，所述第二安装座包括：
7.如权利要求1所述的光路调整装置，其特征在于，所述中...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦毅盼，陈锐，谭熠，
申请(专利权)人：陕西星环聚能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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