一种带沉孔的薄膜阀门制造技术

本发明专利技术提供一种带沉孔的薄膜阀门，包括：第一板，所述第一板中贯穿开设多个第一孔，且所述第一板中开设有多个沉孔；第二板，所述第二板位于第一孔的相对位置贯穿开设有第二孔，第二板位于沉孔的相对位置贯穿开设有第三孔；瓣片，所述瓣片设置在第一板与第二板之间，且所述瓣片位于沉孔的相对位置贯穿开设有瓣片孔，瓣片根据流体的压差方向变化在第一板与第二板之间被驱动；间隔板，所述间隔板设置在第一板与第二板之间，且所述间隔板中贯穿开设供瓣片上下活动的瓣膜运动空间。本发明专利技术薄膜阀门的瓣片能够很好的贴合阀板，极大地提高了阀门的承压能力，避免漏气问题，具有推广应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜阀门，具体涉及一种带沉孔的薄膜阀门。

技术介绍

1、高频单向阀，为了在一些高频下运行，阀门必须对高频振荡压力做出响应，振荡压力可以被整流以产生通过泵的净流量流体。中国专利cn115574129a公开了一种高频单向阀，包括第一板、第二板和控制组件，第一板和第二板平行设置，第一板上贯穿开设有第一通孔组，第二板上贯穿开设有第二通孔组，控制组件设置于第一板和第二板之间，用于限制流体的流向，以及控制通过所述控制组件流体的流量，控制组件包括阀瓣和形变控制件，阀瓣设置于形变控制件靠近所述第一板一侧，阀瓣上贯穿开设有第三通孔组，当阀瓣受到由所述第一通孔组进入的流体压力时，阀瓣向第二板方向发生形变，形变控制件用于控制阀瓣的形变范围。

2、上述现有技术中的薄膜阀，能支持在高频率下运行，然而现有技术中对于薄膜的开孔多采用激光或冲压切割出来，在薄膜的开孔部位会存在毛刺或烧焦的凸起，会造成薄膜不能完全贴合阀板的问题，从而使得薄膜阀门在压力增大的情况下，很容易出现漏气问题，致使阀门承压不足。

3、为此，我们提出一种带沉孔的薄膜阀门，以解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述沉孔与第三孔的孔径均大于瓣片孔的孔径。

3.根据权利要求1或2任一项所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述沉孔的深度在10μ-50μ之间。

4.根据权利要求1所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述第一板开设沉孔的面上涂覆设置软性涂层。

5.根据权利要求1所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述第二板朝向瓣片的一面涂覆设置软性涂层。

6.根据权利要求4或5任一项所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述软性涂层是硅基涂层、氟化...

【技术特征摘要】

1.一种带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述沉孔与第三孔的孔径均大于瓣片孔的孔径。

3.根据权利要求1或2任一项所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述沉孔的深度在10μ-50μ之间。

4.根据权利要求1所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述第一板开设沉孔的面上涂覆设置软性涂层。

5.根据权利要求1所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述第二板朝向瓣片的一面涂覆设置软性涂层。

6.根据权利要求4或5任一项所述的带沉孔的薄膜阀门，其特征在于，所述软性涂层是硅基涂...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟亮，林汉记，张四海，
申请(专利权)人：厦门微能电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：