【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硅片加工,尤其是涉及一种硅片减薄系统及硅片减薄方法。
技术介绍
1、在太阳能光伏领域,光伏太阳能电池片又称光伏电池片,以下简称硅片,是一种能够将太阳光转化成电能的器件。缓存花篮是一种装载硅片的重要机构,若干硅片沿竖直方向依次插接在缓存花篮内。在硅片的整个加工过程中需要通过机械、化学或其他方式将硅片去除一定厚度,从而实现硅片的薄化,减薄后的硅片相较于原有工艺,在光电转化效率上有显著提高。
2、公告号cn209319435u公开了一种减薄机,包括机架、传送装置和打磨装置,传送装置包括可随中心轴旋转的转盘,转盘上依次设置有若干个围绕中心轴分布的工位,工位用于放置工件;打磨装置包括磨头和用于驱动磨头运动的驱动机构,磨头包括转轴和与转轴连接的磨盘,驱动机构包括设置在机架上的第一驱动组件、位于第一驱动组件上并可水平运动的第二驱动组件和位于第二驱动组件上并可上下运动的第三驱动组件,转轴与第三驱动组件连接,以在第三驱动组件的带动下转动;打磨装置设置在转盘的上方,通过转动转盘,可使若干个工位逐一与打磨装置的打磨位置对接。
【技术保护点】
1.一种硅片减薄系统,其特征在于:包括用于对缓存花篮进行上下料的输送装置(1),硅片依次插接在缓存花篮内,所述输送装置(1)的一侧设有用于对硅片减薄的减薄装置(2),所述输送装置(1)和减薄装置(2)之间设有搬运装置(3),所述搬运装置(3)用于将输送装置(1)内的硅片搬运至减薄装置(2)。
2.根据权利要求1所述的硅片减薄系统,其特征在于:所述输送装置(1)包括两个并排设置的输送单元,其中一个所述输送单元用于对缓存花篮进行上料,另一个所述输送单元用于对缓存花篮进行下料,所述输送单元包括第一输送机构(4)、第二输送机构(5)和位于第一输送机构(4)与第二输
...【技术特征摘要】
1.一种硅片减薄系统,其特征在于:包括用于对缓存花篮进行上下料的输送装置(1),硅片依次插接在缓存花篮内,所述输送装置(1)的一侧设有用于对硅片减薄的减薄装置(2),所述输送装置(1)和减薄装置(2)之间设有搬运装置(3),所述搬运装置(3)用于将输送装置(1)内的硅片搬运至减薄装置(2)。
2.根据权利要求1所述的硅片减薄系统,其特征在于:所述输送装置(1)包括两个并排设置的输送单元,其中一个所述输送单元用于对缓存花篮进行上料,另一个所述输送单元用于对缓存花篮进行下料,所述输送单元包括第一输送机构(4)、第二输送机构(5)和位于第一输送机构(4)与第二输送机构(5)之间的缓存机构(6),所述第一输送机构(4)用于将缓存花篮转运至缓存机构(6),所述缓存机构(6)用于对缓存花篮进行缓存,所述第二输送机构(5)用于将缓存机构(6)缓存的硅片转运至搬运装置(3)。
3.根据权利要求2所述的硅片减薄系统,其特征在于:所述第一输送机构(4)包括第一机架(7),所述第一机架(7)上设有用于输送缓存花篮的第一输送机(8)。
4.根据权利要求3所述的硅片减薄系统,其特征在于:所述缓存机构(6)包括设置在第一输送机(8)一侧的缓存轨道(9),所述缓存轨道(9)与第一输送机(8)的输送方向垂直设置,所述缓存轨道(9)上滑移连接有用于输送缓存花篮的缓存输送机(10),所述缓存轨道(9)上设有用于驱动缓存输送机(10)沿缓存轨道(9)滑移的第一驱动单元,所述缓存轨道(9)背离第一输送机(8)的一侧设有安装架(11),缓存花篮滑移连接在所述安装架(11)上,所述安装架(11)上设有用于驱动缓存花篮沿安装架(11)升降的第二驱动单元。
5.根据权利要求2所述的硅片减薄系统,其特征在于:所述第二输送机构(5)包括第二机架(12),所述第二机架(12)上设有用于对缓存机构(6)和减薄装置(2)之间的硅片进行输送的第二输送机(13),所述第二输...
【专利技术属性】
技术研发人员:周煜杰,陆文轩,王献飞,
申请(专利权)人:无锡江松科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。