一种弹性膜结构的压力传感器制造技术

技术编号:42897113 阅读:54 留言:0更新日期:2024-09-30 15:14
本发明专利技术公开了压力传感器领域内的一种弹性膜结构的压力传感器,其壳体内设有测压腔,测压腔位于压力变形膜片下方,壳体上侧设有上盖,上盖和壳体之间形成上腔,压力变形膜片上表面无语上腔内,压力变形膜片整体上呈圆形,经环形的压板固定在壳体上表面,上腔内在压力变形膜片上方设有反射镜,上腔内经发光器固定支架安装有发光器件,反射镜上对应设有透射孔,反射镜的下表面和压力变形膜片的上表面分别设有反光层,在远离发光器件的另一侧设有感光板,发光器件发出的光穿过所述透射孔照射在压力变形膜片,经压力变形膜片及反光镜的各至少两次反光后投射到所述感光板上。该装置制造方便,易于后期对精度进行校准。其用于压力测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传感器,特别涉及一种采用光对形变进行放大并检测的压力传感器。


技术介绍

1、现有技术中,有一种一种多点接触压力传感器,其公开号:cn118329244a,公开日:20240712,该传感器包括基座、受力机构和控制系统,所述基座设置有压敏膜片;所述受力机构的数量为至少一组,所有受力机构的端部均与所述压敏膜片抵接;所述控制系统与所述压敏膜片信号连接;其中,所述受力机构被施加外力后能够将外力作用力传递至压敏膜片上,所述压敏膜片向所述控制系统反馈作用力的传递顺序和作用力的数值。通过将所有受力机构的端部与传感电元件的感应端抵接,在受力机构被施加外力时,通过受力机构的端部将外力作用力传递至压敏膜片上,以使压敏膜片向所述控制系统反馈作用力的传递顺序和作用力的数值,从而实现了多角度分析测量,提高测量精确度。

2、现有技术中,还公开了一种压力传感器,公开号:cn113203514a;公开日:20210803,该装置包括带有受压区域的膜片层、由压电应变元件构成压电应变测定部,压电应变元件设置在所述受压区域的外周部的所述膜片层上,利用压电电阻效应测本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性膜结构的压力传感器,包括壳体,壳体内设有压力变形膜片,所述壳体内设有测压腔,测压腔位于压力变形膜片下方,其特征在于:壳体上侧设有上盖,上盖和壳体之间形成上腔,压力变形膜片上表面无语上腔内,压力变形膜片整体上呈圆形,经环形的压板固定在壳体上表面,上腔内在压力变形膜片上方设有反射镜,上腔内经发光器固定支架安装有发光器件,反射镜上对应设有透射孔,反射镜的下表面和压力变形膜片的上表面分别设有反光层,在远离发光器件的另一侧设有感光板,所述压力变形膜片水平设置,反射镜的工作表面与水平面之间呈夹角设置,发光器件发出的光穿过所述透射孔照射在压力变形膜片,经压力变形膜片及反光镜的各至少两次反光...

【技术特征摘要】

1.一种弹性膜结构的压力传感器,包括壳体,壳体内设有压力变形膜片,所述壳体内设有测压腔,测压腔位于压力变形膜片下方,其特征在于:壳体上侧设有上盖,上盖和壳体之间形成上腔,压力变形膜片上表面无语上腔内,压力变形膜片整体上呈圆形,经环形的压板固定在壳体上表面,上腔内在压力变形膜片上方设有反射镜,上腔内经发光器固定支架安装有发光器件,反射镜上对应设有透射孔,反射镜的下表面和压力变形膜片的上表面分别设有反光层,在远离发光器件的另一侧设有感光板,所述压力变形膜片水平设置,反射镜的工作表面与水平面之间呈夹角设置,发光器件发出的光穿过所述透射孔照射在压力变形膜片,经压力变形膜片及反光镜的各至少两次反光后投射到所述感光板上,感光板与pcb板电连接,感光板根据感光的位置经pcb板上的电路处理后,输出对应的压力信号。

2.根据权利要求1所述的一种弹性膜结构的压力传感器,其特征在于:所述发光器件为激光发生器,所述透射孔为条形孔。

3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:顾天刚李悦芮磊
申请(专利权)人:江苏奥力威传感高科股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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