【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到光谱仪技术设备领域，尤其涉及到一种分辨率可调的片上光谱仪。
技术介绍
1、光谱仪在现代科学研究和日常生活中具有重要意义，如药物分析、环境监测、气体传感和航空航天。然而，基于自由空间光学技术的传统光谱仪通常既笨重又昂贵。片上光谱仪的出现为实现低成本、便携式的光谱测量提供了可能。
2、基于绝缘体上硅(silicon-on-insulator,soi)材料的集成硅光子学非常具有吸引力，其具有高折射率差和cmos工艺制造兼容性，是开发超小型、低成本片上光谱仪系统的理想选择。
3、目前主要有两种片上光谱仪，一种是色散型光谱仪，另一种是使用光谱重建型光谱仪。
4、色散型光谱仪的关键是色散元件，例如阵列波导光栅和阵列微环谐振器等。对于阵列波导光栅光谱仪来说，通常很难实现具有极窄通道间距的高性能硅阵列波导光栅，因此光谱仪的分辨率有限。相比之下，使用阵列微环谐振器时，通过提升微环谐振器的品质因子可以达到相当高的分辨率。然而，由于制造误差，高品质因子的微环谐振器阵列很难实现均匀的通道间距，且通常受限于自由
<本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，包括：光开关，所述光开关的输入端接入待测光谱，所述光开关的输出端连接多组谐振器单元，每组所述谐振器单元设置有两个热光调谐微环谐振器；
2.根据权利要求1所述的分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，所述多模布拉格波导光栅滤波器包括：两个模式复用器和多模布拉格波导光栅，所述多模布拉格波导光栅设于两个所述模式复用器之间并通过直波导连接。
3.根据权利要求2所述的分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，所述模式复用器设置有两根锥形波导，一个所述锥形波导为宽波导并作为总线波导，另一个所述锥形波导为窄波导并作为接入波导
4....
【技术特征摘要】
1.一种分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，包括：光开关，所述光开关的输入端接入待测光谱，所述光开关的输出端连接多组谐振器单元，每组所述谐振器单元设置有两个热光调谐微环谐振器；
2.根据权利要求1所述的分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，所述多模布拉格波导光栅滤波器包括：两个模式复用器和多模布拉格波导光栅，所述多模布拉格波导光栅设于两个所述模式复用器之间并通过直波导连接。
3.根据权利要求2所述的分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，所述模式复用器设置有两根锥形波导，一个所述锥形波导为宽波导并作为总线波导，另一个所述锥形波导为窄波导并作为接入波导。
4.根据权利要求2所述的分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，所述多模布拉格波导光栅设置有一段多模波导，所述多模波导的两侧均设置有光栅，两列所述光栅在沿波导传输方向保持预设的错位以产生π相位差，其中，最大的所述错位的长度为半个周期。
5.根据权利要求1所述的分辨率可调的片上光谱仪，其特征在于，所述热光调谐微环谐振器设置有对应于第一个所述直波导的端口1和端口4，以及设置有对应于第二个所述直波导的端口2和端口3，其中，所述端口1为输入端口，所述端口2为输出端口，所述端3和所述端口4为光谱仪工作前的检查标定端...
【专利技术属性】
技术研发人员：董鹏辉，徐科，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。