一种光通信与气体感知一体器件制造技术

技术编号:42885599 阅读:25 留言:0更新日期:2024-09-30 15:07
本发明专利技术公开一种光通信与气体感知一体器件,涉及光电子技术领域,旨在解决现有的光电探测器与气体探测器无法耦合成一体器件,无法对光与气体进行同时检测的问题,包括光学信息检测部分,光学信息检测部分的一侧设置有气体检测部分,气体检测部分包括隔离层;隔离层的一侧设置有叉值电极,叉值电极的一侧设置有气敏材料,气敏材料的另一侧设有外部封装部分。本发明专利技术的一种光通信与气体感知一体器件,能够将气体检测部分与光学信息检测部分封装成一体器件,以达到对目标环境内气体和光学信息进行同时检测的目的,极大提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电子,具体涉及一种光通信与气体感知一体器件


技术介绍

1、光电探测器是基于光电效应将光信号转换为电信号,从而实现对光辐射进行测量的器件,气体探测器是基于气敏材料在还原性气体或某些特定气体接触时发生反应,导致电阻率发生变化,进行检测的器件。

2、现有的光电探测器与气体探测器无法耦合成一体器件,在某些特定场合,无法做到对光与气体的同时检测,仍需单独进行检测,导致检测效率不高。


技术实现思路

1、为了解决现有的光电探测器与气体探测器无法耦合成一体器件,无法对光与气体进行同时检测的问题,本专利技术提出一种光通信与气体感知一体器件,将气体检测部分与光学信息检测部分封装成一体器件,以达到对目标环境内气体和光学信息进行同时检测的目的,极大提高检测效率。

2、为了实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种光通信与气体感知一体器件,包括光学信息检测部分,所述光学信息检测部分的一侧设置有气体检测部分,所述气体检测部分包括隔离层;所述隔离层的一侧设置有叉值电极,所述叉值电极的一侧设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于,包括光学信息检测部分(1),所述光学信息检测部分(1)的一侧设置有气体检测部分(2),所述气体检测部分(2)包括隔离层(21);所述隔离层(21)的一侧设置有叉值电极(23),所述叉值电极(23)的一侧设置有气敏材料(24),所述气敏材料(24)的另一侧设有外部封装部分(3)。

2.根据权利要求1所述的一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于,所述光学信息检测部分(1)包括光学传感器(11),所述光学传感器(11)将光信号转换为电信号以对光辐射进行测量。

3.根据权利要求2所述的一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于,包括光学信息检测部分(1),所述光学信息检测部分(1)的一侧设置有气体检测部分(2),所述气体检测部分(2)包括隔离层(21);所述隔离层(21)的一侧设置有叉值电极(23),所述叉值电极(23)的一侧设置有气敏材料(24),所述气敏材料(24)的另一侧设有外部封装部分(3)。

2.根据权利要求1所述的一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于,所述光学信息检测部分(1)包括光学传感器(11),所述光学传感器(11)将光信号转换为电信号以对光辐射进行测量。

3.根据权利要求2所述的一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于,所述光学信息检测部分(1)与气体检测部分(2)之间设置有荧光量子点薄膜(12),所述荧光量子点薄膜(12)固定于光学传感器(11)与隔离层(21)构成的空间内。

4.根据权利要求1或2所述的一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于,所述叉值电极(23)具体为采用金属导电材料制成的叉值电极,所述叉值电极(23)采用光刻技术以及电化学技术制备而成。

5.根据权利要求1或2所述的一种光通信与气体感知一体器件,其特征在于,所述气敏材料(24)采用金属氧化物半导体制成,具体通过化学气相沉积的方式,在叉值电极(23)上形成有一层薄膜或颗粒,所述气敏材料(2...

【专利技术属性】
技术研发人员:李京周李宏彬刘曙亮杨鸿宇董红星张龙
申请(专利权)人:国科大杭州高等研究院
类型:发明
国别省市:

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