光学系统技术方案

光学系统，包括：第一透镜，包括第一表面和与第一表面相对的第二表面，并且具有第一焦距；第二透镜，包括第三表面和与第三表面相对的第四表面，并且具有第二焦距；以及曲面镜，设置在穿过第一透镜的第一激光束的行进路径上，并且改变第一激光束的行进路径以通过反射第一激光束来使第一激光束进入第二透镜。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施方式涉及光学系统。更具体地，本公开的实施方式涉及光学系统和包括其的激光装置。

技术介绍

1、作为用于将非晶硅层结晶成多晶硅层的方法，使用了固相结晶(spc)、金属诱导结晶(mic)、金属诱导横向结晶(milc)和准分子激光退火(ela)。例如，用于使用激光束将非晶硅结晶成多晶硅的准分子激光退火主要用于有机发光显示装置或液晶显示装置的制造工艺中。

2、在准分子激光退火(ela)中使用的激光装置包括生成源激光束的激光发生器。源激光束是未处理的原始激光束，并且具有拥有长轴和短轴的矩形剖面。源激光束在长轴方向和短轴方向二者上具有高斯分布的能量分布。高斯分布是指关于平均值横向对称的正态分布。

3、然而，如果源激光束的能量分布偏离正态分布，则在结晶工艺期间可能出现缺陷。为了防止缺陷的发生，已经开发了复杂的光学系统来消除激光束的振动，但是可能存在的问题是，因为可能需要大量的光学透镜，空间可能受到限制，并且光束对准可能困难，所以光效率降低。

技术实现思路

1、本公开的实施方式提供了光学系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，所述第一焦距小于所述第二焦距。

4.根据权利要求3所述的光学系统，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光学系统，其特征在于，所述第二透镜定位成使得从所述曲面镜反射的所述第一激光束会聚在为所述第一焦距和所述第二焦距的总和的位置处。

6.根据权利要求5所述的光学系统，其特征在于，所述曲面镜的中心和所述第一透镜之间的分离距离与所述曲面镜的所述中心和所述第二透镜之间的分离距离相同。p>

7.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种光学系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，所述第一焦距小于所述第二焦距。

4.根据权利要求3所述的光学系统，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光学系统，其特征在于，所述第二透镜定位成使得从所述曲面镜反射的所述第一激光束会聚在为所述第一焦距和所述第二焦距的总和的位置处。

6.根据权利要求5所述的光学系...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宗吾，金志桓，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：