【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光，尤其涉及一种光斑整形方法及处理设备。
技术介绍
1、紫外激光具有高精度、高能量密度等优点，在激光加工、光刻技术、精密测量等领域存在广泛应用。目前，半导体量测所使用的激光器普遍为全固态紫外激光器，而要获得高功率的紫外激光输出，现有的激光器使用非线性频率变换技术，通过将红外或者可见光等基频光注入到非线性晶体中，就可以获得紫外甚至深紫外的激光输出。
2、在全固态紫外激光器中，非线性晶体是实现紫外光输出的关键器件之一，但是由于非线性晶体各向异性的特性，基频光注入到晶体内会发生走离效应，激光出射后光斑会由圆变成椭圆状，光束质量变差，与后续光路的匹配度降低，导致出现各种问题。走离效应无法避免，但是我们可以对出射光斑进行整形，使输出的光斑重新整形为圆形或者满足后续光路使用的形状，目前光斑整形常用的方法为柱透镜整形，不影响后续光路的指向性，并且选型方便，调试容易。然而目前柱透镜整形并没有固定的选型与整形方法，大多数还是依靠调试人员的经验操作来整形，调试人员花费的时间和金钱成本较大，整形效率较低。
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【技术保护点】
1.一种光斑整形方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述大小关系，对目标柱透镜的位置进行移动之前，还包括：
3.根据权利要求2所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述第一光斑尺寸、所述第三光斑尺寸以及所述大小关系，对目标柱透镜的位置进行移动，包括：
4.根据权利要求2所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述第二光斑尺寸、所述第四光斑尺寸以及所述大小关系，对目标柱透镜的位置进行移动之前，还包括：
5.根据权利要求4所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述第二光斑尺寸、所述第四光斑...
【技术特征摘要】
1.一种光斑整形方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述大小关系，对目标柱透镜的位置进行移动之前，还包括：
3.根据权利要求2所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述第一光斑尺寸、所述第三光斑尺寸以及所述大小关系，对目标柱透镜的位置进行移动，包括：
4.根据权利要求2所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述第二光斑尺寸、所述第四光斑尺寸以及所述大小关系，对目标柱透镜的位置进行移动之前，还包括：
5.根据权利要求4所述的光斑整形方法，其特征在于，根据所述第二光斑尺寸、所述第四光斑尺寸以及所述大小关系，对目标柱透镜的位置进行移动，包括：
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：王海龙，相宇阳，陈剑，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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