一种测量CO2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种测量CO<subgt;2</subgt;激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，属于激光技术领域，装置包括：连续CO<subgt;2</subgt;激光种子源、短脉冲CO<subgt;2</subgt;激光种子源、位于短脉冲CO<subgt;2</subgt;激光种子源出射光路的第一分光镜；脉冲CO<subgt;2</subgt;激光信息探测模块，位于第一分光镜的透射光路；第一薄膜偏振片，位于第一分光镜反射光路和连续CO<subgt;2</subgt;激光种子源出射光路的交汇处；依次位于第一薄膜偏振片出射光路的CO<subgt;2</subgt;激光放大器、第二薄膜偏振片、第二分光镜、斩光轮模块和第一碲镉汞探测器；时间选通电路，用于控制连续CO<subgt;2</subgt;激光种子源、短脉冲CO<subgt;2</subgt;激光种子源和CO<subgt;2</subgt;激光放大器的启闭时间。该装置简化传统增益测量装置的同时研究放大过程中的各种弛豫现象。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光，更具体地，涉及一种测量co2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置。

技术介绍

1、高功率、高重复频率、高光束质量的短脉冲co2激光作为驱动光源与液滴锡靶作用，是当前获得13.5nm极紫外光的主流方案，因为co2激光可以提供可实现的平均功率、极紫外光转换效率和轰击靶材产生最小碎片的最佳组合。co2驱动激光需要满足持续时间为5-20ns、重复频率超过几十千赫兹、平均功率高达数十千瓦的需求，所以必须使用主振荡功率放大结构。因此，对于纳秒级短脉冲co2激光放大的时域增益演化研究是一项重要内容。

2、纳秒脉冲在co2激光放大器中的放大效率低于长脉冲以及连续激光，通过单个旋转线上振荡的输入激光脉冲，受极限旋转弛豫时间常数的限制，没有足够的时间将co2激光放大器中存储的全部能量耦合出来。限制纳秒脉冲的有效放大的另一个因素是在非对称振动模式v3和对称振动模式v1振动模式的0001和1000振动能级之间模内弛豫，以及对称振动模式v1和弯曲模式v2振动之间的费米共振弛豫，当模内弛豫时间大于或者相当于脉冲持续时间时，放大器能量提取会变少。提高纳秒本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测量CO2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的测量CO2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在于，所述连续CO2激光种子源(1)产生的探测信号光采用P偏振光，所述短脉冲CO2激光种子源(2)产生的干扰脉冲信号光采用S偏振光。

3.如权利要求1所述的测量CO2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在于，所述短脉冲CO2激光种子源(2)采用多谱线短脉冲CO2激光种子源，用于产生不同谱线、不同脉宽的干扰脉冲信号光。

4.如权利要求1所述的测量CO2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种测量co2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的测量co2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在于，所述连续co2激光种子源(1)产生的探测信号光采用p偏振光，所述短脉冲co2激光种子源(2)产生的干扰脉冲信号光采用s偏振光。

3.如权利要求1所述的测量co2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在于，所述短脉冲co2激光种子源(2)采用多谱线短脉冲co2激光种子源，用于产生不同谱线、不同脉宽的干扰脉冲信号光。

4.如权利要求1所述的测量co2激光放大时域增益演化及弛豫过程的装置，其特征在于，所述斩光轮模块(9)包括：两个透镜以及位于这两个透镜之间的旋转斩光轮，所述旋转斩光轮的转速可调...

【专利技术属性】
技术研发人员：李波，游聪，林高洁，黄维，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：