【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及先进陶瓷，具体涉及一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷及其制备方法。
技术介绍
1、碳化硅是一种高温强度优异的先进陶瓷材料，广泛用于航空航天、机械制造、石油化工，金属冶炼、电子行业，特别是应用于高温部件中，由于碳化硅具有优异的导热和抗氧化性能，也经常被应用于半导体行业。均热板为晶体炉内重要的载热部位，要求均热板热导率高，抗热震性好。常规的碳化硅陶瓷多满足高热导率，但抗热震性很差，使用效果和寿命均不理想。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中碳化硅陶瓷抗热震性很差，导致使用效果和寿命均不理想的缺陷，本专利技术利用牺牲模板法制备出可自控高抗热震性碳化硅陶瓷。
2、本专利技术的技术方案之一提供了一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，该制备方法包括以下步骤：
3、将不同粒径的碳化硅原粉、造孔剂与有机溶剂混合，然后进行球磨，将研磨好的浆料进行干燥，得到造粒原料，对造粒原料进行破碎、过筛，最后将过筛的粉料放入真空炉中，进行无压烧结，得到目的产物。
4、进一步...
【技术保护点】
1.一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将不同粒径的碳化硅原粉、造孔剂与有机溶剂混合，然后进行球磨，将研磨好的浆料进行干燥，得到造粒原料，对造粒原料进行破碎、过筛，最后将过筛的粉料放入真空炉中，进行无压烧结，得到目的产物。
2.根据权利要求1所述的一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，不同粒径的碳化硅原粉由粒径为80μm的碳化硅原粉和粒径为1μm的碳化硅原粉组成，80μm的碳化硅原粉和1μm的碳化硅原粉的比例为70～95：30～5。
3.根据权利要求1所述的一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，其特...
【技术特征摘要】
1.一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将不同粒径的碳化硅原粉、造孔剂与有机溶剂混合，然后进行球磨，将研磨好的浆料进行干燥，得到造粒原料，对造粒原料进行破碎、过筛，最后将过筛的粉料放入真空炉中，进行无压烧结，得到目的产物。
2.根据权利要求1所述的一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，不同粒径的碳化硅原粉由粒径为80μm的碳化硅原粉和粒径为1μm的碳化硅原粉组成，80μm的碳化硅原粉和1μm的碳化硅原粉的比例为70～95：30～5。
3.根据权利要求1所述的一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，所述造孔剂为pmma、聚氯乙烯、聚苯乙烯、明胶、纤维素、藻酸盐、硫酸钡或ni中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的一种可控高抗热震性碳化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂由亚克力胶和...
【专利技术属性】
技术研发人员：白文豹，杨旭强，谢志鹏，李正闯，
申请(专利权)人：东莞市夏阳新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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