【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏太阳能电池制造，具体涉及一种驱动结构、冷却装置和加工设备。
技术介绍
1、在光伏太阳能电池制造过程中，需要对光伏太阳能电池制造设备中的加工对象(例如，硅片)进行温度调节。目前，主要通过光伏太阳能电池制造设备包括的驱动机构，驱动其加工腔室中的冷却板移动，从而使冷却板对加工对象进行温度调节。
2、然而，驱动机构的尺寸较大，造成光伏太阳能电池制造设备占用的空间大。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种驱动结构、冷却装置和加工设备，解决了驱动冷却板移动的驱动机构尺寸较大，占用的空间大的问题。
2、第一方面，本申请的实施例提供了一种驱动结构，用于驱动加工设备的腔室中的冷却板，以调节冷却板与腔室中的加工对象之间的距离，冷却板被配置为调节加工对象的温度，其中，加工设备包括腔室主体和腔门，驱动结构设置于腔门的靠近地面的一端，腔门具有导向孔；其中，驱动结构包括：驱动源，与加工设备相对固定设置，被配置为提供驱动力；传动组件，与驱动源连接，被配置为传递驱动力；...
【技术保护点】
1.一种驱动结构，其特征在于，用于驱动加工设备的腔室中的冷却板，以调节所述冷却板与所述腔室中的加工对象之间的距离，所述冷却板被配置为调节所述加工对象的温度，其中，所述加工设备包括腔室主体和腔门，所述驱动结构设置于所述腔门的靠近地面的一端，所述腔门具有导向孔；
2.根据权利要求1所述的驱动结构，其特征在于，所述传动组件包括：
3.根据权利要求2所述的驱动结构，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的驱动结构，其特征在于，所述传动组件还包括：第一带轮、第二带轮和传送带；
5.根据权利要求4所述的驱动结构，其特征在于，还
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【技术特征摘要】
1.一种驱动结构，其特征在于，用于驱动加工设备的腔室中的冷却板，以调节所述冷却板与所述腔室中的加工对象之间的距离，所述冷却板被配置为调节所述加工对象的温度，其中，所述加工设备包括腔室主体和腔门，所述驱动结构设置于所述腔门的靠近地面的一端，所述腔门具有导向孔；
2.根据权利要求1所述的驱动结构，其特征在于，所述传动组件包括：
3.根据权利要求2所述的驱动结构，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的驱动结构，其特征在于，所述传动组件还包括：第一带轮、第二带...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔琪，董雪迪，李勃，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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