一种基于数字信号采集的电源电压监测装置制造方法及图纸

本技术适用于半导体领域，提供了一种基于数字信号采集的电源电压监测装置，包括MCU，所述MCU通过SPI接口电性连接有ADC，所述MCU还通过SPI接口电性连接有CMOS多路复用器，所述MCU通过SPI协议实时控制CMOS多路复用器的多路通道切换，高速的通道切换可提供ADC芯片实时采集每一路输入数据，所述MCU还电性连接有LED指示灯，所述LED指示灯用于当电压数据达到告警阈值时提供警示，所述MCU电性连接有光纤通讯模块，所述光纤通讯模块电性连接有中控管理平台；还包括电源管理模块，所述电源管理模块电性连接MCU。本技术具有精度高，分辨率高，实时性好，可一对多点位监测数据，节省成本，获取的数据管理统一，可实时同步中控系统，实时监测并分析数据的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体领域，尤其涉及一种基于数字信号采集的电源电压监测装置。

技术介绍

1、随着半导体行业的发展以及信息化技术普及，高压电源在半导体制造业中扮演着重要的角色，也是一种在科学研究和工业应用中广泛使用的关键设备。在半导体制造过程中，离子注入机用于掺杂半导体材料，以改变其电子结构和电学性质。如高压电源用于加速离子并将其注入半导体晶片，以实现器件的精确控制。离子源在束引出时电极打火现象偶有发生，这对于离子源的正常运行有非常严重的影响，甚至危害离子源的寿命。因此需要一种基于数字信号采集的电源监测装置，来监测电源电压异常引起的打火现象，消除安全隐患。

2、现有的电源电压监测方案如下：使用传统的电压测量模块安装在电源设备内部；监测的数据通过数码显示实时数据，通过人工方式查看当前异常状态；监测数据通过采用人工记录数据，总结并分析；多数电源设备及场景并无监测电压异常现象的功能。以上方案存在如下问题：1、此种监测方式不能实时有效的将当前数据存储分析；2、数据监测显示滞后，维护人员不能及时查看到异常出现的数据；3、不能将数据传输至中控系统，操作人员不能实时本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于数字信号采集的电源电压监测装置，包括MCU，其特征在于，所述MCU通过SPI接口电性连接有ADC，所述ADC用于实时采集数据，并将采集的数据转换成可读取的电压数据值，所述MCU还通过SPI接口电性连接有CMOS多路复用器，所述MCU通过SPI协议实时控制CMOS多路复用器的多路通道切换，所述MCU还电性连接有LED指示灯，所述LED指示灯用于当电压数据达到告警阈值时提供警示，所述MCU电性连接有光纤通讯模块，所述光纤通讯模块电性连接有中控管理平台；还包括电源管理模块，所述电源管理模块电性连接MCU。

2.根据权利要求1所述的基于数字信号采集的电源电压监测装置，其特...

【技术特征摘要】

1.一种基于数字信号采集的电源电压监测装置，包括mcu，其特征在于，所述mcu通过spi接口电性连接有adc，所述adc用于实时采集数据，并将采集的数据转换成可读取的电压数据值，所述mcu还通过spi接口电性连接有cmos多路复用器，所述mcu通过spi协议实时控制cmos多路复用器的多路通道切换，所述mcu还电性连接有led指示灯，所述led指示灯用于当电压数据达到告警阈值时提供警示，所述mcu电性连接有光纤通讯模块，所述光纤通讯模块电性连接有中控管理平台；还包括电源管理模块，所述电源管理模块电性连接mcu。

2.根据权利要求1所述的基于数字信号采集的电源电压监测装置，其特征在于，通过设定初始值与获取的电压数据进行比对来判定是否异常，或通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡兵，肖维，祝卓军，彭建华，
申请(专利权)人：江苏契讯数智信息技术有限公司，
类型：新型
国别省市：