【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微电子机械系统器件领域，具体为一种基于活体嗅觉细胞共融mems的高灵敏嗅觉传感器。
技术介绍
1、嗅觉传感器是一种能检测气体分子并将其转化为电信号的器件，是实现机电设备感知世界的关键器件之一，广泛应用于环境监测、工业安全、医疗诊断、建筑安全及国防安全等领域。
2、结合微机电系统（micro electro mechanical systems , mems）技术具有的高集成度、多功能集成、高附加值等优势，嗅觉传感器（又称为气体传感器或化学传感器）实现了微型化、低功率、高集成度和低成本。当前，mems气体传感器常用的检测方式包括热导式、电化学式、光学式、压电声波式等。热导式检测响应速度快，且结构简单、成本低，对多种可燃性气体敏感，但对环境温度和湿度的变化敏感，可能导致误报。电化学式检测具有良好的线性输出、低功耗要求和分辨率，但随着传感器老化，灵敏度漂移严重。光学式检测主要包括红外吸收型、光谱吸收型、荧光型、光纤化学材料型等，这种方式对特定气体有很高的选择性和灵敏度，不受环境温度和湿度的影响，且因不与气体直接接触而...
【技术保护点】
1.一种基于活体嗅觉细胞共融MEMS的高灵敏嗅觉传感器，其特征在于：包括从上到下所设置的PDMS盖片（1）、温控层（2）、PDMS隔膜（3）、PDMS防呆凹槽层（4）、细胞腔室层（5）与玻璃衬底层（6）；所述PDMS盖片（1）、温控层（2）、PDMS隔膜（3）从上到下依次键合为第一整体，所述PDMS防呆凹槽层（4）、细胞腔室层（5）与玻璃衬底层（6），从上到下依次键合为第二整体，所述第一整体与第二整体通过键合的方式连接为一体；
2.根据权利要求1所述的一种基于活体嗅觉细胞共融MEMS的高灵敏嗅觉传感器，其特征在于：所述第一PDMS固定框（101）厚度为40...
【技术特征摘要】
1.一种基于活体嗅觉细胞共融mems的高灵敏嗅觉传感器，其特征在于：包括从上到下所设置的pdms盖片（1）、温控层（2）、pdms隔膜（3）、pdms防呆凹槽层（4）、细胞腔室层（5）与玻璃衬底层（6）；所述pdms盖片（1）、温控层（2）、pdms隔膜（3）从上到下依次键合为第一整体，所述pdms防呆凹槽层（4）、细胞腔室层（5）与玻璃衬底层（6），从上到下依次键合为第二整体，所述第一整体与第二整体通过键合的方式连接为一体；
2.根据权利要求1所述的一种基于活体嗅觉细胞共融mems的高灵敏嗅觉传感器，其特征在于：所述第一pdms固定框（101）厚度为40μm~60μm，形状为正方形，边长为2.5mm~3mm；所述第一通气孔（102）及第二通气孔（302）为圆形，直径为0.5μm~1μm，所述加热元件接口（103）形状为正方形，边长为70μm~80μm；所述温度测量接口（104）形状为长方形，长为70μm~80μm，宽为20μm~30μm，外侧的加热元件接口（103）与相邻的温度测量接口（104）之间的距离为25μm~35μm，两个温度测量接口（104）之间的距离为10μm~15μm。
3.根据权利要求1所述的一种基于活体嗅觉细胞共融mems的高灵敏嗅觉传感器，其特征在于：第二pdms固定框（301）厚度为80μm~120μm，所述加热元件（201）材料为铂，加热电极片的输入输出端口处的70μm~80μm，中部蛇形位置的宽度为25μm~35μm；所述温度测量元件（202）材料为铂，测温电极片的两个温度输出端的宽度为25μm~35μm，内侧的测温电极片的宽度为5μm~7μm，所述测温电极片与加热电极片的间隙最小为2μm~5μm，最大为25μm~35μm；所述第二pdms固定框（301）底面的方形凸起（303）的厚度为40μm~60μm，长为1800μm~2200μm，宽为1600μm~2000μm。
4.根据权利要求1所述的一种基于活体嗅觉细胞共融mems的高灵敏嗅觉传感器，其特征在于：所述第三pdms固定框（401）的厚度与方形凸起（303）的厚度相同，所述防呆凹槽的长为1830μm~2230μm，宽为1630μm~2030μm...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵星灵，李秀源，闫佳乐，刘俊，唐军，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：
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