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一种液晶集成超表面光束偏转器制造技术

技术编号:42809087 阅读:86 留言:0更新日期:2024-09-24 20:51
本发明专利技术提供一种液晶集成超表面光束偏转器,包括多个周期排列的超表面单元结构形成的超表面阵列,所述超表面单元结构从上到下包括:上介质基板、上层透明导电电极、液晶取向层、液晶层、超表面层、下层透明导电电极、下介质基板。本发明专利技术采用任意编码的方式,可以根据目标角度计算超表面阵列的编码序列,使得光束的偏转角度不再是周期编码的几个固定角度,达到任意角度偏转与扫描,提高实用性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学领域,具体涉及一种液晶集成超表面光束偏转器


技术介绍

1、光束偏转技术是对光束在空间中的传播方向进行动态调控的一项技术,在空间光通信、激光扫描、环境监测等领域均有广泛的应用。传统机械式的光束偏转系统存在结构复杂、体积大、寿命短等缺点。超表面是一种近年来出现的新型二维亚波长结构,能够精确地控制光波的振幅、相位等特性。在超表面中引入能够在外部激励驱动下发生物理或化学特性改变的材料,可以实现非机械式光束偏转调控。超表面器件的厚度通常在亚波长尺度,并且其加工工艺与传统半导体工艺兼容,使得超表面具有体积小、质量轻、平面化以及高集成性等优点,可以有效解决传统机械式光束偏转系统所面临的问题。

2、液晶是一种各向异性材料,在外部电压的作用下,液晶分子的排布会发生变化,宏观上表现为折射率的变化。将液晶作为超表面的环境介质,通过对液晶的逐像素控制实现单元结构的独立相位响应,是目前最有潜力实现像素级调控、连续调控的光束扫描方案之一。通过对超表面单元结构的不同相位响应进行数字编码,超表面阵列按照不同的编码序列排布来实现光束偏转角度的调控。然而,目前本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,包括多个周期排列的超表面单元结构形成的超表面阵列,所述超表面单元结构从上到下包括:上介质基板、上层透明导电电极、液晶取向层、液晶层、超表面层、下层透明导电电极、下介质基板。

2.根据权利要求1所述的液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,所述上介质基板为玻璃基板,所述下介质基板为二氧化硅衬底。

3.根据权利要求1所述的液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,所述超表面层为周期排列的纳米柱,具有同样的半径和高度。

4.根据权利要求1所述的液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,所述上层透明导电电极为氧化铟锡,所述下...

【技术特征摘要】

1.一种液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,包括多个周期排列的超表面单元结构形成的超表面阵列,所述超表面单元结构从上到下包括:上介质基板、上层透明导电电极、液晶取向层、液晶层、超表面层、下层透明导电电极、下介质基板。

2.根据权利要求1所述的液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,所述上介质基板为玻璃基板,所述下介质基板为二氧化硅衬底。

3.根据权利要求1所述的液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,所述超表面层为周期排列的纳米柱,具有同样的半径和高度。

4.根据权利要求1所述的液晶集成超表面光束偏转器,其特征在于,所述上层透明导电电极为氧化铟锡,所述下层透明导电电极为经刻蚀的氧化铟锡。

5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡挺单梦珠钟其泽董渊郑少南邱阳赵兴岩
申请(专利权)人:上海大学
类型:发明
国别省市:

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