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测试探针及检测装置制造方法及图纸

技术编号:42808515 阅读:31 留言:0更新日期:2024-09-24 20:51
一种测试探针,包含一第一探针,该第一探针包括一第一检测体、一与该第一检测体间隔设置的第一传输体,及二分别与该第一检测体及该第一传输体连接的第一弹性体,该二第一弹性体排列设置并朝相反方向弹性弯曲,该测试探针适用于设置于一检测装置中,并利用该二第一弹性体的相反方向弹性弯曲的结构,可提供均匀的弹力使该第一检测体在进行电性检测时不会产生歪斜的状况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种测试探针及检测装置,尤其是一种用于对电子晶片进行电性检测的测试探针及检测装置。


技术介绍

1、随着半导体的进步,电子晶片的体积越来越小,因此电子晶片上所设置的接触电极,其面积及间距也逐渐微小化,针对电子晶片的电性测试所使用的测试探针,不仅要求体积要缩小,排列要紧密,弹性适当,造成现阶段的电性检测的难度越来越高。

2、请参阅图1,为现有的一体式弹性测试探针21,适用于设置于一测试装置(图式未示出)中,其包含一检测段211、一与该检测段211连接的弹性段212,及一与该弹性段212连接的传输段213,该弹性段212提供该检测段211及该传输段213之间的弹力,可使该检测段211缓冲电性测试时的下压力,再利用该传输段213传输电性检测信号,虽然现有的一体式弹性测试探针21可以排列于该测试装置中,但是实际使用时,仍具有下列缺点:

3、一、探针排列不够紧密:

4、现有的一体式弹性测试探针21的弹性段212,是从该一体式弹性测试探针21的一侧边形成弹性弯曲结构,而该弹性段212的弹性弯曲的弧度必须足够,才能提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测试探针,其特征在于,包含:

2.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲。

3.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相同方向弹性弯曲。

4.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,还包含一第二探针,及一绝缘膜,该第二探针包括一与该第一检测体间隔设置的第二检测体、一与该第二检测体间隔设置的第二传输体,及二分别与该第二检测体及该第二传输体连接的第二弹性体,二个该第二弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲,该第一检测体与该第二检测体分别贴附于该绝缘膜的两...

【技术特征摘要】

1.一种测试探针,其特征在于,包含:

2.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲。

3.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相同方向弹性弯曲。

4.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,还包含一第二探针,及一绝缘膜,该第二探针包括一与该第一检测体间隔设置的第二检测体、一与该第二检测体间隔设置的第二传输体,及二分别与该第二检测体及该第二传输体连接的第二弹性体,二个该第二弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲,该第一检测体与该第二检测体分别贴附于该绝缘膜的两侧。

5.如权利要求4所述的测试探针,其特征在于,该第一探针还包括一设置于该第一检测体的第一接触尖端,该第二探针还包括一设置于该第二检测体的第二接触尖端。

6.一种检测装置,其特征在于,包含:

7.如权利要求6所述的检测装置,其特征在于,该...

【专利技术属性】
技术研发人员:许美真
申请(专利权)人:吴俊杰
类型:发明
国别省市:

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