【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种测试探针及检测装置,尤其是一种用于对电子晶片进行电性检测的测试探针及检测装置。
技术介绍
1、随着半导体的进步,电子晶片的体积越来越小,因此电子晶片上所设置的接触电极,其面积及间距也逐渐微小化,针对电子晶片的电性测试所使用的测试探针,不仅要求体积要缩小,排列要紧密,弹性适当,造成现阶段的电性检测的难度越来越高。
2、请参阅图1,为现有的一体式弹性测试探针21,适用于设置于一测试装置(图式未示出)中,其包含一检测段211、一与该检测段211连接的弹性段212,及一与该弹性段212连接的传输段213,该弹性段212提供该检测段211及该传输段213之间的弹力,可使该检测段211缓冲电性测试时的下压力,再利用该传输段213传输电性检测信号,虽然现有的一体式弹性测试探针21可以排列于该测试装置中,但是实际使用时,仍具有下列缺点:
3、一、探针排列不够紧密:
4、现有的一体式弹性测试探针21的弹性段212,是从该一体式弹性测试探针21的一侧边形成弹性弯曲结构,而该弹性段212的弹性弯曲的弧
...【技术保护点】
1.一种测试探针,其特征在于,包含:
2.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲。
3.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相同方向弹性弯曲。
4.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,还包含一第二探针,及一绝缘膜,该第二探针包括一与该第一检测体间隔设置的第二检测体、一与该第二检测体间隔设置的第二传输体,及二分别与该第二检测体及该第二传输体连接的第二弹性体,二个该第二弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲,该第一检测体与该第二检测体分
...【技术特征摘要】
1.一种测试探针,其特征在于,包含:
2.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲。
3.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,二个该第一弹性体彼此间隔排列设置并朝相同方向弹性弯曲。
4.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,还包含一第二探针,及一绝缘膜,该第二探针包括一与该第一检测体间隔设置的第二检测体、一与该第二检测体间隔设置的第二传输体,及二分别与该第二检测体及该第二传输体连接的第二弹性体,二个该第二弹性体彼此间隔排列设置并朝相反方向弹性弯曲,该第一检测体与该第二检测体分别贴附于该绝缘膜的两侧。
5.如权利要求4所述的测试探针,其特征在于,该第一探针还包括一设置于该第一检测体的第一接触尖端,该第二探针还包括一设置于该第二检测体的第二接触尖端。
6.一种检测装置,其特征在于,包含:
7.如权利要求6所述的检测装置,其特征在于,该...
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