一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器制造技术

技术编号:42801121 阅读:24 留言:0更新日期:2024-09-24 20:46
本发明专利技术涉及温压传感器技术领域,公开了一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,包括:感压模块、感温模块以及光纤;光纤、感压模块及感温模块同轴线;感温模块为圆柱形的温度敏感微腔,感压模块包括圆形弹性感压膜片和中空压力敏感微腔,中空压力敏感微腔用于连接圆形弹性感压膜片和温度敏感微腔;温度敏感微腔的半径小于圆形弹性感压膜片的半径,且使得反射后的光信号的耦合效率达到预设值。通过设置温度敏感微腔的半径小于圆形弹性感压膜片的半径,且使得反射后的光信号的耦合效率达到预设值,克服了同径设计对于温度灵敏性和压力灵敏性的制约,进一步提升温压传感器的测试精度和测试效能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及温压传感器,尤其涉及一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器


技术介绍

1、温压传感器在工业自动化、环境监测、医疗设备等领域发挥着重要作用,将待测参量转换为光信号输出,为各种系统的控制和监测提供了基础数据。

2、对于大型船舶来说,温度是判断燃料燃烧程度和判断发动机运行功率的重要参数,同种燃料和氧气输入比例下,温度越高燃烧越充分,效率越高。但是温度过高,又会烧坏发动机结构,所以温度控制很重要。同时,发动机的压力又是确保发动机安全运行、检查发动机性能和状态、提高发动机可靠性的重要措施,因此测试发动机压力是不可获取的监控手段。但是对于船舶等发动机结构复杂、温度高、压力强的环境进行温度和压力测量时,需要安装传感器进行测量,而传感器的安装需要在待测环境中进行打孔操作,即测试哪儿就在哪儿进行打孔操作,但是打孔操作必定要对待测环境中的结构产生损伤,因此应该尽可能在单点上实现尽可能多的参量监测,即对温度和压力同时进行测量。

3、温压传感器将外界环境中物理参量变化转化为微机械敏感结构中微腔腔长的变化,基于干涉原理将对应敏感微腔的干涉信息本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,所述光纤温压传感器包括:感压模块、感温模块以及光纤(4);

2.根据权利要求1所述的一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,所述圆形弹性感压膜片(1)的直径小于被测物安装在被测环境时在被测环境结构上所开孔洞的孔径。

3.根据权利要求1所述的一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,调整所述圆形弹性感压膜片(1)的半径,使得所述光纤温压传感器的压力灵敏度在2×104kPa时达到8nm/kPa。

4.根据权利要求3所述的一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,所述圆形...

【技术特征摘要】

1.一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,所述光纤温压传感器包括:感压模块、感温模块以及光纤(4);

2.根据权利要求1所述的一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,所述圆形弹性感压膜片(1)的直径小于被测物安装在被测环境时在被测环境结构上所开孔洞的孔径。

3.根据权利要求1所述的一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,调整所述圆形弹性感压膜片(1)的半径,使得所述光纤温压传感器的压力灵敏度在2×104kpa时达到8nm/kpa。

4.根据权利要求3所述的一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,所述圆形弹性感压膜片(1)半径与厚度比为20:1~50:1。

5.根据权利要求1所述的一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,调整所述温度敏感微腔(3)的半径,使得所述光纤温压传感器的温度灵敏度在1600℃时达到8nm/℃。

6.根据权利要求5所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:于迅彭士涛肖令宋勇奎李美彤
申请(专利权)人:交通运输部天津水运工程科学研究所
类型:发明
国别省市:

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