【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，具体而言，涉及一种低浓度残余气体的检测系统和一种低浓度残余气体的检测方法。
技术介绍
1、随着半导体行业技术的发展，以及国家对于环保的日益重视，对半导体生产过程中所产生的有毒有害气体的检测成为了现实的需求，气体成分和浓度监测的手段有很多，如红外气体浓度检测仪、大型质谱仪和便携式质谱仪。其中，红外气体浓度检测仪具有较高的抗污染能力，但其无法实现复杂气体的组分分析；大型质谱仪的体积较大无法满足现场的快速检测需求；因此，便捷式质谱仪成为了首选仪器，随着便携式质谱仪的发展，各种便携式质谱仪层出不穷，诸如便携式气相色谱仪和液相质谱仪在各种场合有了各自的应用。
2、但是，在实际使用过程中，存在这样一个问题：现有技术中富集装置检测周期较长，无法满足快速检测需求。
技术实现思路
1、本专利技术解决现有技术中富集装置检测周期较长，无法满足快速检测需求的技术问题。
2、为解决上述问题，本专利技术提供一种低浓度残余气体的检测系统，检测系统包括：第一富集装置和第二富集装置，...
【技术保护点】
1.一种低浓度残余气体的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：
2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
5.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述进样管路包括：
6.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述采样管路包括：
7.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的检测系统，其特征
...
【技术特征摘要】
1.一种低浓度残余气体的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：
2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括：
5.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述进样管路包括：
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘泽渊，励俊杰，张吉熊，杜亚宁，季宝良，梁顺，朱思学，
申请(专利权)人：浙江海纳精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。