【技术实现步骤摘要】
本申请涉及位移或厚度的计量，更具体地，涉及一种光谱共焦传感器光轴与被测样品间相对倾角的计算方法、计算机设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品。
技术介绍
1、在基于光谱共焦传感器的位移或厚度测量过程中，传感器光轴与被测样品间的垂直度是影响测量精度的重要影响因素之一。因此，准确地计算传感器光轴与被测样品间的相对倾角，是对其相对垂直关系进行校准的依据和前提。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种光谱共焦传感器光轴与被测样品间相对倾角的计算方法、计算机设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品，将能够准确地计算光谱共焦传感器光轴与被测样品间相对倾角。
2、为实现上述目的，按照本专利技术的第一个方面，提供了一种光谱共焦传感器光轴与被测样品间相对倾角的计算方法，该方法包括：
3、建立半球面上任意位置返回光的光强与夹角之间的映射关系，夹角为半球面上光强最大位置的法向量和其他任意位置的法向量之间的夹角；
4、获取被测样品表面返回光的第一光强；>
5、对第一光本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光谱共焦传感器光轴与被测样品间相对倾角的计算方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述建立半球面上任意位置返回光的光强与夹角之间的映射关系，包括：
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将采集坐标系转换为计算坐标系，包括：
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据半球面各个位置的方向的位移、计算坐标系下在方向和方向的位移、以及返回光的光强，建立半球面各个位置的方向的位移关于方向和方向的位移组合的拟合曲面、光强关于方向和方向的位移组合的拟合曲面，包括：
5.如权利要求2所述...
【技术特征摘要】
1.一种光谱共焦传感器光轴与被测样品间相对倾角的计算方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述建立半球面上任意位置返回光的光强与夹角之间的映射关系，包括：
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将采集坐标系转换为计算坐标系，包括：
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据半球面各个位置的方向的位移、计算坐标系下在方向和方向的位移、以及返回光的光强，建立半球面各个位置的方向的位移关于方向和方向的位移组合的拟合曲面、光强关于方向和方向的位移组合的拟合曲面，包括：
5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述半球面各个位置的方向的位移关于方向和方向的位移组合的拟合曲面、光强关于方向和方向的位移组合的拟合曲面，建立半球的...
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