内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器及其制作方法技术

技术编号:42734565 阅读:18 留言:0更新日期:2024-09-18 13:31
本发明专利技术公开了内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器,包括从底部到顶部依次叠加设置的基片衬底、接地层A、接地层B以及介电层,介电层上内嵌有铁氧体中心结,铁氧体中心结下表面接触接地层B上表面,铁氧体中心结上方设置有微带线层。本发明专利技术解决了现有技术中存在的环形器需要依赖外加磁场进行工作并且尺寸偏大难以集成的问题。本发明专利技术还公开了内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器的制作方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微波器件与集成电路,涉及内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器;本专利技术还涉及内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器的制作方法。


技术介绍

1、铁氧体环行器作为微波器件,在雷达、微波通信和微波测量等领域有着广泛的应用。其主要作用是在微波信号的发射和接收过程中实现信号的隔离,从而稳定和保护微波发射电路。环行器根据传输线形式的不同可分为微带线环行器、带线环行器和波导环行器。其中,微带线环行器作为一种平面结构器,具有以下优点:1)结构简单,成本低,制作便捷,结合半导体工艺可实现批量生产;2)性能优异,可靠性高,电磁信号的相位和幅度一致性好,工作温度区域宽;3)体积小,有利于整机系统平面集成化,这也是微带线环行器最大的优势。因而,微带线式成为了目前各个频段下环行器设计类型的首选。

2、传统的微带线环行器虽然比波导环形器与带线环形器设计更加小巧,但是其仍然无法摆脱对于外加磁场的依赖,这大幅增加了器件的尺寸以及能耗,极大的限制了环形器在收发器电路系统中的集成应用。


技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器,其特征在于,包括从底部到顶部依次叠加设置的基片衬底(1)、接地层A(2)、接地层B(3)以及介电层(4),所述介电层(4)上内嵌有铁氧体中心结(6),所述铁氧体中心结(6)下表面接触所述接地层B(3)上表面,所述铁氧体中心结(6)上方设置有微带线层。

2.根据权利要求1所述的内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器,其特征在于,所述微带线层包括设置在所述铁氧体中心结(6)上方的中心微带电路,所述中心微带电路为圆形的铜中心结(7),所述铜中心结(7)绕其圆周均匀连接有三个端口微带线(8)。

3.根据权利要求2所述的内嵌式微带线自偏置钡铁...

【技术特征摘要】

1.内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器,其特征在于,包括从底部到顶部依次叠加设置的基片衬底(1)、接地层a(2)、接地层b(3)以及介电层(4),所述介电层(4)上内嵌有铁氧体中心结(6),所述铁氧体中心结(6)下表面接触所述接地层b(3)上表面,所述铁氧体中心结(6)上方设置有微带线层。

2.根据权利要求1所述的内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器,其特征在于,所述微带线层包括设置在所述铁氧体中心结(6)上方的中心微带电路,所述中心微带电路为圆形的铜中心结(7),所述铜中心结(7)绕其圆周均匀连接有三个端口微带线(8)。

3.根据权利要求2所述的内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器,其特征在于,所述介电层(4)上还内嵌有三对接地口(5),三对所述接地口(5)与三个所述端口微带线(8)对应设置,每个所述端口微带线(8)远离铜中心结(7)的一端两侧均设置有一个所述接地口(5),所述接地口(5)底面接触接地层b(3)。

4.根据权利要求3所述的内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形器,其特征在于,所述基片衬底(1)为硅基片衬底,所述接地层a(2)和接地层b(3)分别为金金属层和铂金属层,所述介电层(4)为二氧化硅层,所述端口微带线(8)为材料为铜,所述接地口(5)由铜制成。

5.根据权利要求4所述的内嵌式微带线自偏置钡铁氧体环形...

【专利技术属性】
技术研发人员:全威
申请(专利权)人:西安理工大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1