【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光，具体涉及一种基于激光反射的温度测量装置和方法。
技术介绍
1、随着科学技术的快速发展，对微观尺度下材料热特性的高速准确测量需求日益增长。基于材料的热特性可以对器件进行温度测量，还可以对半导体器件等微纳结构的设计与生产过程进行检测。
2、相关技术中，如热反射测量技术，利用材料的光学反射率与温度的关系可以实现高空间分辨率的温度测量。但是，相关技术中测量器件温度的效率还较低，且光学信号容易被噪声掩盖，造成测量结果不够准确。
技术实现思路
1、为了提升对微观尺度材料温度测量的准确性和效率，本申请提供了一种基于激光反射的温度测量装置和方法。所述技术方案如下：
2、第一方面，本申请提供了一种基于激光反射的温度测量装置，所述装置包括：
3、光调制模块，包括激光器和光开关，所述激光器用于输出偏振态的入射激光，所述光开关用于对所述入射激光进行调制；沿调制后的所述入射激光的入射光路上依次设有偏振分束器、1/4波片以及显微镜的物镜；所述偏振分束器用于将调制后的...
【技术保护点】
1.一种基于激光反射的温度测量装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述差分探测器还用于根据差分信号和所述温度信息生成所述待测样品(13)对应的温度分布图像，所述差分信号由所述差分探测器对所述参考信号和所述反射信号进行差分操作得到。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括线偏振片(6)，所述线偏振片(6)设于所述参考信号探测器(4)和所述偏振分束器(7)之间，所述线偏振片(6)的方向可调节，所述线偏振片(6)用于对所述参考激光进行功率补偿。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种基于激光反射的温度测量装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述差分探测器还用于根据差分信号和所述温度信息生成所述待测样品(13)对应的温度分布图像，所述差分信号由所述差分探测器对所述参考信号和所述反射信号进行差分操作得到。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括线偏振片(6)，所述线偏振片(6)设于所述参考信号探测器(4)和所述偏振分束器(7)之间，所述线偏振片(6)的方向可调节，所述线偏振片(6)用于对所述参考激光进行功率补偿。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述反射信号探测器(5)为单点探测器的情况下，所述装置还包括扫描模块(8)，所述扫描模块(8)设于所述偏振分束器(7)和所述1/4波片(10)之间，所述扫描模块(8)用于扫描激光。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括控制单元，所述控制单元用于控制所述扫描模块的位置，以及用...
【专利技术属性】
技术研发人员：林豪彬，沈金辉，
申请(专利权)人：苏州凌光红外科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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