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一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置制造方法及图纸

技术编号:4269374 阅读:209 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种薄膜材料制备技术领域,尤其是一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的时间继电器式自动送粉装置,电气控制部分由电源,开关,可变电阻,触头,弹片,衔铁,电磁铁和时间继电器组成,送粉控制部分由控制杆,挡板,储粉罐和粉末组成,储粉罐底部开有孔径,在储粉罐中放置控制杆,使粉末一点一点地依次送到高温的蒸发源中;通过时间继电器实现送粉时间间隔的可控选择。本实用新型专利技术具有结构简单、成本较低、送粉量均匀、送粉时间间隔可调,扩大了送粉装置的使用范围,有利于提高瞬间蒸发法沉积薄膜的质量的优点。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于薄膜材料制备
,具体涉及一种用于瞬间蒸发法制备薄膜 材料的时间继电器式自动送粉装置。
技术介绍
以合金或化合物为原材料进行合金或化合物薄膜的沉积时,大多数化合物,特别 是硫族化合物,各组成元素的饱和蒸气压相差很大,用简单的蒸发方法难以由化合物镀料 沉积出组成符合化学计量比的薄膜。瞬间蒸发法又称“闪烁”或“微分”蒸发法,它是将细 小的合金或化合物颗粒一点一点依次送到高温的蒸发源中,使蒸发物质在蒸发源上实现瞬 间完全蒸发。如果颗粒尺寸很小,蒸发源的温度达到高熔点组元的蒸发温度,则几乎能对任 何组分进行同时蒸发。这就是将整体镀料微分成许多小的个体,每一个个体蒸发沉积的薄 膜成分因为同时蒸发而基本符合化学当量,由此沉积的整体薄膜成分与原材料基本相同, 从而防止了分馏现象。送粉装置是瞬间蒸发法中一个非常重要的组成部分,当前的问题是每次送粉 量很难精确控制,时多时少,这对薄膜的质量产生较大的影响。用于蒸发的材料直径为 0. 2-0. 3mm的颗粒状,因此,将细小的合金或化合物颗粒一点一点依次送到高温的蒸发源中 以及送粉时间间隔可控是瞬间蒸发法沉积高质量薄膜的关键。
技术实现思路
本技术为解决上述问题而提供一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装 置,具有送粉时间间隔可控式高精度自动送粉,将粉末颗粒一点一点依次送到高温的蒸发 源中,从而实现每次送粉量的少而精确控制。本技术为实现上述目的而提供的技术方案包括由电气控制部分和送粉控 制部分构成,电气控制部分包括电源,开关,可变电阻,触头,弹片,衔铁,电磁铁和时间继 电器,送粉控制部分包括控制杆,挡板,储粉罐和粉末,其中触头与电磁铁之间设有弹片和 衔铁,储粉罐与衔铁焊接在一起。储粉罐内装有0. 2-0. 3mm的粉末材料,其底部开有直径 为10mm的出粉量孔,在储粉罐中放置控制杆,其主体部分直径为9. 7mm,另一部分直径为 15mm0与现有技术相比,本技术的优点在于,1、在储粉罐中放置控制杆,其作用是恒位于储粉罐内,防止应振动使粉末堵塞于 出粉孔处,更重要的是限制每次振动送粉的数量,使粉末一点一点地依次送到高温的蒸发 源中;通过时间继电器实现送粉时间间隔的可控选择,从而实现送粉的高精度控制。2、结构简单、成本较低、送粉量均勻、送粉时间间隔可调,扩大了送粉装置的使用 范围,有利于提高瞬间蒸发法沉积薄膜的质量。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为图1中本技术出粉孔剖视图;图3为图2的使用状态结构图之一;图4为图2的使用状态结构图之二。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细的说明。本技术不仅局限于这一个 实施例,凡是采用本设计的结构和思路,做一些简单的变化或更改的设计,都落入本实用新 型保护的范围。如图1所示,本技术用于瞬间蒸发法制备薄膜的送粉装置结构为电气控制 部分由电源1、开关2、可变电阻3、触头4、弹片5、衔铁6、电磁铁11和时间继电器12组成, 送粉控制部分由控制杆7、挡板8、储粉罐9和粉末10组成,其中触头4与电磁铁11之间设 有弹片5和衔铁6,储粉罐9与衔铁6焊接在一起。如图2所示为出粉孔的剖视图,储粉罐 9底部的直径为30mm,所述控制杆7的主体部分直径为9. 7mm,另一部分直径为15mm,储粉 罐底部开有孔径为10mm的出粉量孔,如图2图3和图4所示,当处于A2_A2图示的相切情况 时,粉末才能下落;介于A2-A2和之间的状态,粉末均不会下落。送粉过程的实现合上开关,电磁铁有电流通过,产生了磁性,把衔铁吸过来,带动 储粉罐向下移动,同时触头与弹片分离,电路断开;电磁铁失去了磁性,衔铁又被弹回,带动 储粉罐向上移动,同时触头与弹片接触,电路闭合,不断重复,使储粉罐产生振动;此时,通 过可变电阻的改变调节振动的强度,达到瞬间蒸发法送粉的振动强度要求;最后再配合瞬 间蒸发法的工艺要求,通过时间继电器执行延时指令,需延时或限时到规定的时间才闭合 或断开其控制电路,使送粉时间间隔的控制得以实现。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置,包括电气控制部分和送粉控制部分,其特征在于,电气控制部分由电源(1),开关(2),可变电阻(3),触头(4),弹片(5),衔铁(6),电磁铁(11)和时间继电器(12)组成,送粉控制部分由控制杆(7),挡板(8),储粉罐(9)和粉末(10)组成,其中触头(4)与电磁铁(11)之间设有弹片(5)和衔铁(6),储粉罐(9)与衔铁(6)焊接固定,储粉罐(9)的底部开有出粉孔的孔径,储粉罐(9)中放置有控制杆(7)。

【技术特征摘要】
一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置,包括电气控制部分和送粉控制部分,其特征在于,电气控制部分由电源(1),开关(2),可变电阻(3),触头(4),弹片(5),衔铁(6),电磁铁(11)和时间继电器(12)组成,送粉控制部分由控制杆(7),挡板(8),储粉罐(9)和粉末(10)组成,其中触头(4)与电磁铁(11)之间设有弹片(5)和衔铁(6),储粉罐(9)与衔铁(6)焊接固定,储粉罐(9)的底部开有出粉孔的孔径,储粉罐(9)中放置有控制杆(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送...

【专利技术属性】
技术研发人员:段兴凯江跃珍胡孔刚曾志巍吴绍荣林浩
申请(专利权)人:九江学院
类型:实用新型
国别省市:36[中国|江西]

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