【技术实现步骤摘要】
本技术属于薄膜材料制备
,具体涉及一种用于瞬间蒸发法制备薄膜 材料的时间继电器式自动送粉装置。
技术介绍
以合金或化合物为原材料进行合金或化合物薄膜的沉积时,大多数化合物,特别 是硫族化合物,各组成元素的饱和蒸气压相差很大,用简单的蒸发方法难以由化合物镀料 沉积出组成符合化学计量比的薄膜。瞬间蒸发法又称“闪烁”或“微分”蒸发法,它是将细 小的合金或化合物颗粒一点一点依次送到高温的蒸发源中,使蒸发物质在蒸发源上实现瞬 间完全蒸发。如果颗粒尺寸很小,蒸发源的温度达到高熔点组元的蒸发温度,则几乎能对任 何组分进行同时蒸发。这就是将整体镀料微分成许多小的个体,每一个个体蒸发沉积的薄 膜成分因为同时蒸发而基本符合化学当量,由此沉积的整体薄膜成分与原材料基本相同, 从而防止了分馏现象。送粉装置是瞬间蒸发法中一个非常重要的组成部分,当前的问题是每次送粉 量很难精确控制,时多时少,这对薄膜的质量产生较大的影响。用于蒸发的材料直径为 0. 2-0. 3mm的颗粒状,因此,将细小的合金或化合物颗粒一点一点依次送到高温的蒸发源中 以及送粉时间间隔可控是瞬间蒸发法沉积高质量薄膜的关键。
技术实现思路
本技术为解决上述问题而提供一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装 置,具有送粉时间间隔可控式高精度自动送粉,将粉末颗粒一点一点依次送到高温的蒸发 源中,从而实现每次送粉量的少而精确控制。本技术为实现上述目的而提供的技术方案包括由电气控制部分和送粉控 制部分构成,电气控制部分包括电源,开关,可变电阻,触头,弹片,衔铁,电磁铁和时间继 电器,送粉控制部分包括控制杆,挡板,储粉罐和粉末 ...
【技术保护点】
一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置,包括电气控制部分和送粉控制部分,其特征在于,电气控制部分由电源(1),开关(2),可变电阻(3),触头(4),弹片(5),衔铁(6),电磁铁(11)和时间继电器(12)组成,送粉控制部分由控制杆(7),挡板(8),储粉罐(9)和粉末(10)组成,其中触头(4)与电磁铁(11)之间设有弹片(5)和衔铁(6),储粉罐(9)与衔铁(6)焊接固定,储粉罐(9)的底部开有出粉孔的孔径,储粉罐(9)中放置有控制杆(7)。
【技术特征摘要】
一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送粉装置,包括电气控制部分和送粉控制部分,其特征在于,电气控制部分由电源(1),开关(2),可变电阻(3),触头(4),弹片(5),衔铁(6),电磁铁(11)和时间继电器(12)组成,送粉控制部分由控制杆(7),挡板(8),储粉罐(9)和粉末(10)组成,其中触头(4)与电磁铁(11)之间设有弹片(5)和衔铁(6),储粉罐(9)与衔铁(6)焊接固定,储粉罐(9)的底部开有出粉孔的孔径,储粉罐(9)中放置有控制杆(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于瞬间蒸发法制备薄膜材料的送...
【专利技术属性】
技术研发人员:段兴凯,江跃珍,胡孔刚,曾志巍,吴绍荣,林浩,
申请(专利权)人:九江学院,
类型:实用新型
国别省市:36[中国|江西]
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