【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制程，具体涉及一种安全性高的输送管道。
技术介绍
1、半导体制程特种气体输送管道是半导体行业不可或缺的一部分，由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，因此高纯气体配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，电子特种气体贯穿半导体和微电子工业各个工艺流程，常见气体包括硅烷、锗烷、溴化氢、磷化氢、砷化氢、乙硼烷。
2、现有的输送管道通常采用不锈钢材质，不具有保温隔热作用，在运输一些易燃易爆的气体时，会因为外界的温度过高造成内部气体膨胀而导致爆炸，给工作人员造成伤害，存在安全隐患，而且通常只有一层防护，当管道破坏时缺少二级防护，极易泄漏。
3、因此，本领域技术人员提供了一种安全性高的输送管道，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术中的缺陷，本技术提供一种安全性高的输送管道，通过设置不锈钢内管和不锈钢外管形成双重保护层防止气体泄漏，在不锈钢内管外侧设置隔热管，防止外部热量传输给气体，使内...
【技术保护点】
1.一种安全性高的输送管道，包括气罐(1)，其特征在于：所述气罐(1)上端固定设置有输送管机构(2)，所述输送管机构(2)两端均固定设置有阀门机构(3)，所述输送管机构(2)一端螺栓固定有警报器机构(4)，所述输送管机构(2)一端固定设置有压力阀(5)；
2.根据权利要求1所述的一种安全性高的输送管道，其特征在于：所述阀门机构(3)包括液压杆(301)，所述液压杆(301)下端固定设置有堵塞块(303)，所述堵塞块(303)下端固定设置有橡胶垫圈(305)。
3.根据权利要求1所述的一种安全性高的输送管道，其特征在于：所述不锈钢内管(208)输...
【技术特征摘要】
1.一种安全性高的输送管道，包括气罐(1)，其特征在于：所述气罐(1)上端固定设置有输送管机构(2)，所述输送管机构(2)两端均固定设置有阀门机构(3)，所述输送管机构(2)一端螺栓固定有警报器机构(4)，所述输送管机构(2)一端固定设置有压力阀(5)；
2.根据权利要求1所述的一种安全性高的输送管道，其特征在于：所述阀门机构(3)包括液压杆(301)，所述液压杆(301)下端固定设置有堵塞块(303)，所述堵塞块(303)下端固定设置有橡胶垫圈(305)。
3.根据权利要求1所述的一种安全性高的输送管道，其特征在于：所述不锈钢内管(208)输出气体的一端螺纹套接有过滤器(205)，所述不锈钢外管(206)输出气体的一端螺纹套设有出气口(204...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡双洋，
申请(专利权)人：上海芯鸿霖半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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