一种高灵敏度光机械加速度传感器及测量方法技术

本发明专利技术涉及光机械加速度传感器技术领域，具体是一种高灵敏度光机械加速度传感器及测量方法。本发明专利技术解决了现有光机械加速度传感器测量灵敏度较低、测量精度较低的问题。一种高灵敏度光机械加速度传感器，包括第一分布反馈式半导体激光器、电光调制器、掺铒光纤放大器、第二分布反馈式半导体激光器、光纤耦合器、光环行器、封装盒、低通滤波器、光电探测器、示波器、频谱仪、计算机、PID控制器；封装盒的顶壁贯通开设有透光微孔；封装盒的内腔封装有敏感单元；所述敏感单元包括两个底硅层、两个氧化层、三个顶硅层、三个顶二氧化硅层、石墨烯薄膜。本发明专利技术适用于加速度信号的测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光机械加速度传感器，具体是一种高灵敏度光机械加速度传感器及测量方法。

技术介绍

1、光机械加速度传感器因其具有抗干扰能力强的优点，而被广泛应用于加速度信号的测量。然而在实际应用中，现有光机械加速度传感器由于自身结构所限，存在如下问题：其一，现有光机械加速度传感器的敏感单元的位移灵敏度较低，导致其无法实现微弱加速度信号的准确测量，由此导致其测量灵敏度较低。其二，现有光机械加速度传感器在工作过程中，其光路中存在较大的噪声和漂移，由此导致其测量精度较低。基于此，有必要专利技术一种高灵敏度光机械加速度传感器及测量方法，以解决现有光机械加速度传感器测量灵敏度较低、测量精度较低的问题。

技术实现思路

1、本专利技术为了解决现有光机械加速度传感器测量灵敏度较低、测量精度较低的问题，提供了一种高灵敏度光机械加速度传感器及测量方法。

2、本专利技术是采用如下技术方案实现的：

3、一种高灵敏度光机械加速度传感器，包括第一分布反馈式半导体激光器、电光调制器、掺铒光纤放大器、第二分布反馈式半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高灵敏度光机械加速度传感器，其特征在于：包括第一分布反馈式半导体激光器（1）、电光调制器（2）、掺铒光纤放大器（3）、第二分布反馈式半导体激光器（4）、光纤耦合器（5）、光环行器（6）、封装盒（7）、低通滤波器（13）、光电探测器（14）、示波器（15）、频谱仪（16）、计算机（17）、PID控制器（18）；

2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度光机械加速度传感器，其特征在于：还包括信号发生器（19）、功率放大器（20）、压电激振器（21）、标准加速度计（22）、模数转换器（23）；信号发生器（19）的信号输出端通过功率放大器（20）与压电激振器（21）的信号输入端连...

【技术特征摘要】

1.一种高灵敏度光机械加速度传感器，其特征在于：包括第一分布反馈式半导体激光器（1）、电光调制器（2）、掺铒光纤放大器（3）、第二分布反馈式半导体激光器（4）、光纤耦合器（5）、光环行器（6）、封装盒（7）、低通滤波器（13）、光电探测器（14）、示波器（15）、频谱仪（16）、计算机（17）、pid控制器（18）；

2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度光机械加速度传感器，其特征在于：还包括信号发生器（19）、功率放大器（20）、压电激振器（21）、标准加速度计（22）、模数转换器（23）；信号发生器（19）的信号输出端通过功率放大器（20）与压电激振器（21）的信号输入端连接；封装盒（7）和标准加速度计（22）均固定于压电激振器（21）的上表面；标准加速度计（22）的信号输出端通过模数转换器（23）与计算机（17）的信号输入端连接。

3.根据权利要求1所述的一种高灵敏度光机械加速度传感器，其特征在于：第一分布反馈式半导体激光器（1）的中心波长为405nm；第二分布反馈式半导体激光器（4）的中心波长为633nm。

4.根据权利要求1所述的一种高灵敏度光机械加速度传感器，其特征在于：封装盒（7）的内壁贴附有采用铁磁合金制成的屏蔽箔层；封装盒（7...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文耀，谷妍霞，邢恩博，刘来，周彦汝，唐军，刘俊，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：