一种三维离线检测设备、方法及相关设备技术

本申请公开了一种三维离线检测设备、方法及相关设备。设备包括平板探测器、Z轴运动平台、T向摆动轴、样品旋转托盘、样品X轴运动平台、样品Y轴运动平台、射线源Z轴运动平台和X射线源；Z轴运动平台通过移动平板探测器的位置以满足设备不同分辨率的检测需求，Z轴运动平台和T向摆动轴控制平板探测器在不同角度和不同高度位置按照不同的成像方式进行定位；样品X轴运动平台和样品Y轴运动平台上的待测样品在X、Y水平方向按照不同的成像方式进行运动；样品旋转托盘控制待测样品实现360°不间断的连续旋转运动。上述方案，能够检测出电路板内部的缺陷并能够提供多种检测模式。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电子器件的无损检测，具体涉及一种三维离线检测设备、方法及相关设备。

技术介绍

1、目前大部分的检测设备能够检测出电子器件诸如电路板表面的各种缺陷，这为后续对电子器件的检修提供了技术支持，但是，目前大部分的检测设备无法检测出电路板内部的缺陷，且检测模式单一，无法满足多种样品检测模式需求。

2、因此，亟需一种检测设备，以改善上述技术问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够检测出电路板内部的缺陷并能够提供多种检测模式的的三维离线检测设备、方法及相关设备。

2、第一方面，本申请提供了一种三维离线检测设备，该设备包括平板探测器、z轴运动平台、t向摆动轴、样品旋转托盘、样品x轴运动平台、样品y轴运动平台、射线源z轴运动平台和x射线源；

3、z轴运动平台用于通过移动平板探测器的位置以满足设备不同分辨率的检测需求，并且z轴运动平台和t向摆动轴用于控制平板探测器在不同角度和不同高度位置按照不同的成像方式进行定位；

4、样品x轴运动平台和样品本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三维离线检测设备，其特征在于，所述设备包括平板探测器、Z轴运动平台、T向摆动轴、样品旋转托盘、样品X轴运动平台、样品Y轴运动平台、射线源Z轴运动平台和X射线源；

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括主体框架：

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述设备还包括减震垫；

4.一种三维离线检测方法，其特征在于，所述方法包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述待测样品的所述三维立体数据，对所述待测样品进行检测，包括：

6.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机...

【技术特征摘要】

1.一种三维离线检测设备，其特征在于，所述设备包括平板探测器、z轴运动平台、t向摆动轴、样品旋转托盘、样品x轴运动平台、样品y轴运动平台、射线源z轴运动平台和x射线源；

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括主体框架：

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述设备还包括减震垫；

4.一种三维离线检测方法，其特征在于，所述方法包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述待测样品的所述三维立体数据...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐春，张驰宇，高振州，赵有林，李策，张海娇，
申请(专利权)人：天津三英精密仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：