一种热敏型线列太赫兹探测器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种热敏型线列太赫兹探测器及其制备方法，所述太赫兹探测器从下至上依次包括铜硅底座、宝石衬底、锰钴镍氧热敏元、环氧胶和聚合物衍生陶瓷(Polymer derived ceramic，PDC)吸收膜。本发明专利技术结合PDC吸收膜和锰钴镍氧热敏元，实现了器件对0.1‑10THz的宽波段近完美吸收(90％以上)。通过硅材料湿法方法实现下凹型硅金字塔阵列，以其为模版制作聚合物金字塔阵列，通过热解方法制备得到PDC吸收膜，可贡献0.1～10THz的高吸收。本发明专利技术结合可有效解决原有锰钴镍氧热敏探测敏感元光吸收弱的问题，实现宽波段太赫兹探测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及探测领域，具体涉及一种热敏型线列太赫兹探测器及其制备方法。

技术介绍

1、太赫兹波段是电磁波谱中位于微波和红外之间的频率范围。太赫兹波段具有许多应用，包括成像、通信、安全检测等领域。锰钴镍氧作为一种热敏材料,可以用于制造太赫兹探测器，具有负电阻温度系数大、光谱响应范围宽、长期稳定性好等优点，适合于制备宽波段响应的高性能非制冷红外探测器。但是这种材料也有其不足之处：锰钴镍氧器件热敏层其在0.1～10thz波段大部分范围内的吸收低，这大大限制了其应用可行性。聚合物pdc具有能够制造大面积复杂形状的优点。pdc在0.5–0.75thz的频域中具有15cm-1的高吸收系数。

2、现有技术中由于锰钴镍氧在0.1-10thz重要工作波段范围内光吸收效率低，无法实现高效宽波段热敏探测。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提出一种热敏型线列太赫兹探测器及其制备方法。解决了锰钴镍氧在0.1-10thz重要工作波段范围内光吸收效率低，无法实现高效宽波段热敏探测的难题。

2、本专利技术的热敏本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种热敏型线列太赫兹探测器，其特征在于，所述探测器包括宝石衬底，微桥结构，硅金字塔阵列，补偿元，电学引线，其中，铜底座(1)上制备有硅底座(2)，硅底座上粘贴有宝石衬底(3)，上方制备有锰钴镍氧探测元(4)，PDC金字塔阵列吸收膜(5)，锰钴镍氧补偿元(6)上方覆盖有硅橡胶(7)，金电极层(8)，钛金属粘附层(9)，微桥结构(10)，引线(11)。

2.一种热敏型线列太赫兹探测器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

【技术特征摘要】

1.一种热敏型线列太赫兹探测器，其特征在于，所述探测器包括宝石衬底，微桥结构，硅金字塔阵列，补偿元，电学引线，其中，铜底座(1)上制备有硅底座(2)，硅底座上粘贴有宝石衬底(3)，上方制备有锰钴镍氧探测元(4)，pdc金字塔...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志明，池灵泽，周炜，高艳卿，江林，李政奇，郑国彬，周强国，张起源，黄敬国，姚娘娟，褚君浩，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：